 | | UHV-kompatible Mess-Systeme UHV-Systeme sind für Vakuum bis zu 10-11 TORR verwendbar. Die UHV-Abtastköpfe RGH25F und RGH25U werden mit dem Maßband RGS20-S sowohl zu Weg- als auch zu Teilrotationsmessungen eingesetzt. Der UHV-Abtastkopf RGH20F liefert hingegen in Verbindung mit dem Winkelmess-System RESR hochpräzise Winkelpositions-Rückmeldungen. Die UHV Baureihe wurde für den Einsatz in UHV-Umgebung entwickelt, für Wafer dicing, wissenschaftliche Instrumente, Spektroskopie, Vakuumtestgeräte etc...
Besonderheiten und Vorteile von UHV-Abtastköpfen
- Aus UHV-tauglichen Materialien und Klebstoffen gefertigt, um niedrige Ausgasungsraten und eine saubere RGA zu erhalten
- Ausbackungstemperatur von 120°C
- Berührungsloses, offenes, optisches System für den zuverlässigen Betrieb bei höchsten Geschwindigkeiten ganz ohne Reibung und Verschleiß
- Digital- und Analogausgänge nach Industriestandard mit Auflösungen bis 10 nm
- Minimale Wärmeentwicklung durch niedrigen Stromverbrauch
- Dichtungen mit Entlüftungsöffnungen
- Adaptive Elektronik für hochgenaue, langfristige Zuverlässigkeit und geringen zyklischen Fehler (<±0,1 µm)
- Eine integrierte Einstell-LED sorgt für eine schnelle und einfache Installation
- RFI-abgeschirmtes Kabel mit vakuumtauglicher, beschichteter Verdrahtung
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