Motion-Control-Produkte für hochreine Vakuumumgebungen
Auf Renishaws Messestand anlässlich der "Vacuum Expo" (3. bis 4. November im International Centre, Telford, Großbritannien) drehte sich alles um Systeme zur Positionsrückmeldung, die gezielt für den Einsatz unter hochreinen Vakuumbedingungen entwickelt wurden.
26.10.10
Die Produkte auf der Messe umfassen die neue Baureihe der TONiC™ UHV Mess-Systeme, die sowohl in Wegmess- als auch Winkelmess-Versionen erhältlich sind. Sie vereinen in sich die Vorteile hochgenauer Linearmaßstäbe mit optischen Referenzmarken, hochgenauer direkter Positionsrückmeldungen und einer beispiellosen Robustheit. Gleichzeitig sind sie schnell und einfach zu installieren.
Alle UHV-Mess-Systeme sind aus vakuumtauglichen Materialien und Klebstoffen gefertigt, um niedrige Ausgasungsraten und eine nachweislich saubere Restgasanalyse (RGA) zu erhalten. Ebenso sind sie für Ausbackzyklen von 120 °C geeignet. Sie wurden für Halbleiter- und wissenschaftliche Anwendungen konzipiert, bei denen es auf hohe Leistung ankommt.
Wie die Standardversionen der TONiC Abtastköpfe verwenden die neueste hochreinen Vakuumversionen die einzigartige Filteroptik von Renishaw, die für ein extrem geringes Rauschen optimiert wurde. Das erweiterte Design der Optiken wird des Weiteren durch die dynamische Signalverarbeitung, einschließlich Auto Gain Control (AGC) und Auto Offset Control (AOC) verstärkt. Daraus ergeben sich Ausgangssignale mit einer hervorragenden Signalreinheit, die einen SDE von ±30 nm, ein Rauschen (Jitter) von 0,5 nm RMS und Auflösungen bis 1 nm ermöglichen.
Alle TONiC Maßbänder verfügen über die einzigartige optische IN-TRAC™ Referenzmarke, die direkt in den Inkrementinformationen eingebettet ist und durch Tastendruck eine elektronische automatische Synchronisierung ermöglicht - eine Funktion, die auch dezentral durchgeführt werden kann. Die IN-TRAC Referenzmarke hat außerdem den Vorteil, dass sie über den gesamten Geschwindigkeits- und Temperaturbereich phasensynchron ausgerichtet bleibt.
Für das lineare Positionsfeedback der TONiC UHV-Baureihe haben Motion-Systemkonstrukteure die Wahl zwischen verschiedenen Maßbändern, die alle über nachweislich saubere RGA-Spektren verfügen. Zu diesem Sortiment gehören auch RELM Invar-Maßstäbe, die einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten von "null" und eine garantierte Gesamtgenauigkeit unter ±1 µm bei Längen bis zu 1130 mm bieten. Ebenso können die hochgenauen RSLM Edelstahlmaßstäbe und RTLC Edelstahlmaßbänder sowie Renishaws bewährtes RGSZ Maßband eingesetzt werden.
Für rotative Messungen kann der TONiC UHV Abtastkopf für Winkelmess-Systeme gewählt werden, der mit Renishaws präzise graduierten rotativen Maßbändern mit optischen IN-TRAC™ Referenzmarken, einschließlich der hochgenauen RESM und REXM-Ringe, kompatibel ist. RESM-Ringe werden aus monolithischem, beschichtungsfreiem Edelstahl der 300er Serie hergestellt, so dass sie bei Bedarf speziellen Reinigungs- und Entfettungsverfahren unterzogen werden können. Die Ringe verfügen über einen großen Durchlass mit kleinem Querschnitt sowie eine patentierte Konusmontage zur Feinjustierung von Rundlauffehlern. Für die leistungsfähigsten Drehachsen können die Konstrukteure hochgenaue REXM Ringe wählen. Beim Einsatz dieser Ringe mit zwei Abtastköpfen kann eine Installationsgenauigkeit von weniger als ±1 Winkelsekunde erreicht werden.
Erfahren Sie mehr über das komplette Sortiment der Wegmess-Systeme.
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