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VIONiC™ 光學尺系列

VIONiC 光學尺系列是 Renishaw 最高效的增量式光學尺。透過優異的量測效能、高操作速度和卓越的可靠性,可提供直接數位位置回饋。VIONiC 讀頭整合 Renishaw 經市場認可的過濾光學鏡組與進階細分技術。因此,可提供超低細分誤差 (SDE)、絕佳抗汙能力,且無須使用額外轉接器或獨立介面。

此外,VIONiC 讀頭相容於多種線性、部分弧線和旋轉光學尺,從低膨脹係數的 ZeroMet™ 光學尺到高精確的 REXM 環皆適用。這使得 VIONiC 系列光學尺成為多功能且具有優異量測效能的選擇。

超低細分誤差 (SDE)

細分誤差 (SDE) 圖表

VIONiC 光學尺系列整合 Renishaw 獲市場肯定的過濾光學鏡組與訊號處理功能,可實現優異的量測效能。進階細分技術提供一般可低於 ±15 nm 的超低細分誤差 (SDE),為所有 Renishaw 光學尺中的最低數值。


高速操作和精細解析度

速度圖表

VIONiC 讀頭具備智慧型細分晶片以提供 2.5 nm 的精細解析度,並且在任何應用中皆提供高精度與重複性。光學尺提供 50 MHz 的最高時脈率,且速度高達 12 m/s。解析度為 0.1 µm 時的最高速度可達到 3.63 m/s,適用於半導體製程中的最高產量。


進階診斷工具

選配的 ADT 圖表

VIONiC 光學尺亦採用直覺式自動校正模式而設計,使其易於安裝。選購的進階診斷工具 ADTi-100 可享有安裝過程的即時光學尺資料回饋或現場診斷。

尋找您的 VIONiC 光學尺選項

線性

光學尺類型

光學尺名稱

精度

柵距

20 °C 時的熱膨脹係數

光學尺最長長度

不鏽鋼光學尺與選購的軌道

RTLC20 FASTRACK 光學尺

RTLC20 與選購的 FASTRACK

±5 µm/m

20 µm

10.1 ±0.2 µm/m/°C

長達 10 m(可依要求供應 10 m 以上長度)

精細型不鏽鋼捲尺

RKLC20 光學尺

RKLC20-S

±5 µm/m20 µm

以端蓋固定光學尺尾端時,能符合基板材質

長達 20 m(可依要求供應 20 m 以上長度)

ZeroMet 光學尺

RELM RSLM 光學尺

RELM/RELE±1 µm 用於最多 1 m,則 ±1 µm/m20 µm0.75 ±0.35 µm/m/°C最長達 1.5 m

不鏽鋼光學尺

RELM RSLM 光學尺

RSLM20/RSLE20/RSLC20

±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m20 µm10.1 ±0.2 µm/m/°C最長達 5 m

部分弧線

光學尺類型

光學尺名稱

精度

柵距

熱膨脹係數(20 °C 時)

供應長度

精細型不鏽鋼部分弧線光學尺

RKLC 部分弧線光學尺

RKLC20-S


±5 µm/m

20 µm

10.1 ±0.2 μm/m/°C

長達 20 m(可依要求供應 20 m 以上長度)

旋轉

光學尺類型

光學尺名稱

精度(視環直徑而定)

柵距

20 °C 時的熱膨脹係數

環直徑

不鏽鋼環

RESM-REST 光學尺(光學尺頁面)


RESM20/REST20



刻度精度:±3.97 至 ±0.38 弧秒

20 µm

15.5 ±0.5 µm/m/°C

52 至 550 mm

超高精度不鏽鋼環

REXM 光學尺(光學尺頁面)
REXM20/REXT20

安裝精度:

(直徑 ≥ 100 mm)±1 弧秒
(直徑 75 mm)±1.5 弧秒
(直徑 ≤ 57 mm)±2 弧秒

20 µm15.5 ±0.5 µm/m/°C52 至 417 mm

選配的進階診斷工具 ADTi-100

VIONiC 進階診斷工具

VIONiC 光學尺系統能相容於進階診斷工具 ADTi-100 和 ADT View 軟體。它們可提供全面的即時光學尺資料回饋,以協助完成要求更加嚴苛的安裝和診斷操作。直觀的軟體介面具有以下功能:

  • 遠程校正
  • 在整個軸上達到訊號優化
  • 讀頭刻線距離指示
  • 限制與參考原點指示
  • 顯示讀頭相對於光學尺位置的數位讀數
  • 監控速度與時間曲線圖
  • 匯出和保存資料

主要特色

速度

時脈輸出選項 (MHz)最高速度 (m/s)最小邊緣區隔* (ns)
D (5 μm)X (1 μm)Z (0.5 μm)W (0.2 μm)Y (0.1 μm)H (50 nm)M (40 nm)P (25 nm)I (20 nm)O (10 nm)Q (5 nm)R (2.5 nm)
501212127.253.631.811.450.9060.7250.3630.1810.09125.3
401212125.802.901.451.160.7250.5800.2900.1450.07331.8
2512129.063.631.810.9060.7250.4530.3630.1810.0910.04551.2
2012128.063.221.610.8060.6450.4030.3220.1610.0810.04057.7
121210.365.182.071.040.5180.4140.2590.2070.1040.0520.02690.2
10128.534.271.710.8500.4270.3410.2130.1710.0850.0430.021110
08126.913.451.380.6900.3450.2760.1730.1380.0690.0350.017136
06125.372.691.070.5400.2690.2150.1340.1070.0540.0270.013175
04123.631.810.7300.3600.1810.1450.0910.0730.0360.0180.009259
014.530.9100.4500.1800.0900.0450.0360.0230.0180.0090.0050.0021038

* 用於具有 1 公尺纜線的讀頭。

超低細分誤差 (SDE)

細分誤差 – 10 個誤差週期

VIONiC™ 細分誤差 (SDE)


X 軸:讀頭位置 (mm)

Y 軸:誤差 (nm)