Přeskočit navigaci

Optické odměřovací systémy Multi-DoF

Optické odměřovací systémy Multi-DoF (více stupňů volnosti) měří až šest stupňů volnosti (DoF). Zjistěte, jak měřicí technologie Renishaw multi-DoF, vybavená unikátními stupnicemi RXMA 1.5D, zajišťuje vysoce výkonné proměřování polohy pro dynamické pohybové aplikace.

Absolutní řízení dynamických pohybových aplikací

Společnost Renishaw vytvořila pravý absolutní odměřovací systém multi-DoF, vybavený jednou nebo několika stupnicemi RXMA 1.5D, čtených osvědčenými absolutními snímači RESOLUTE™. Tato kombinace poskytuje vyspělé odměřování polohy multi-DoF bez časově náročných cyklů návratu do výchozí polohy, které jsou často vyžadovány inkrementálními odměřovacími systémy. Absolutní stupnice RXMA používají substrát s nízkou roztažností a vynikající tepelnou stabilitou.

Vyrobeno pro vysoce výkonné aplikace

Absolutní odměřovací systém multi-DoF společnosti Renishaw je ideální pro vysoce výkonné pohybové systémy. Vysoce výkonné aplikace, jako například souřadnicové stoly používané v polovodičovém průmyslu, vyžadují mimořádnou přesnost a opakovatelnost splňující požadavky kvality a produktivity. Měření více stupňů volnosti podél jednotlivých os umožňuje výrobcům obráběcích strojů dynamicky proměřovat zdroje chyb, například přímosti lineárních vedení. Snímače Renishaw multi-DoF umožňují kompenzaci procesu vyplývající z chyb otáčení a posouvání, což napomáhá zachování výkonu procesu a zlepšení kvality součástí.

Stupnice snímače Multi-DoF se substrátovým diskem
Víceosá stupnice s dvěma čtecími hlavami enkodéru RESOLUTE™ (X, Y)

Pravé měření osy X a Y

Stupnice RXMA30 jsou opatřeny dvěma kolmými obrazci stupnice, které umožňují přímé odměřování polohy v osách X a Y. Nezávislé měření primárních lineárních stupňů volnosti může přinášet určité metrologické přednosti. Například měření v ose Y je imunní vůči tepelné roztažnosti, zjištěné v typicky delší ose X.

Snadná elektrická a mechanická integrace

Kombinace různých samostatných os v pojetí multi-DoF společnosti Renishaw umožňuje snazší integraci s řídicí smyčkou. Přímé proměřování os X a Y umožňuje pohodlné zpracování signálu a kompatibilitu s řadou sériových interfaců.

Konstruktéři strojů mohou umístit čtecí hlavy podle požadavků aplikace, protože jednotlivé čtecí hlavy fungují nezávisle. Konfigurovat lze také výstupy kabelů vzadu či na straně, což zjednodušuje vedení kabelů v každé ose.

Víceosý systém 3 čtecích hlav RESOLUTE pod stínem polovodičového waflu

Absolutní snímací systémy Multi-DoF: čtecí hlavy a stupnice

Odměřovací systém Multi-DoF tvoří alespoň jedna stupnice 1.5D a dvě nebo více čtecích hlav. Maximální délka stupnice pro absolutní čtecí hlavu a stupnici je uvedena níže:

Optické snímače RESOLUTE™

Čtecí hlava RESOLUTE™

(rozteč 30 µm)

Vysoká přesnost

Vysoká rychlost

Měřítko víceosého enkodéru RXMA

RXM

Stupnice Multi-DoF

Skleněná stupnice 1.5D

Nízká roztažnost

Vysoká opakovatelnost

Osa X = 350 mm

Osa Y = 4 mm

Ucelená metrologická řešení multi-DoF společnosti Renishaw

Společnost Renishaw je vašim metrologickým partnerem pro vysoce výkonné pohybové systémy, s celou řadou dostupných technologií pro splnění specifických požadavků vaší aplikace.

Renishaw nabízí řadu řešení pro odměřování multi-DoF: laserové kalibrátory, optické snímače a laserové snímače.

  • Víceosé kalibrátory XM-60 a XM-600 umožňují výrobcům měření chyb v šesti stupních volnosti, což vytváří základ vysoce přesných procesů.
  • Absolutní odměřovací systém Multi-DoF je zárukou mimořádně přesného odměřování polohy v procesu pro zachování optimálního výkonu operací.
  • Víceosý periskop RMAP kombinuje tři interferometrické laserové hlavy pro měření lineární polohy, pitch a yaw vysoce výkonných souřadnicových stolů.


Horizontální stůl na lineárním stole
Tablet držený dvěma rukama a zobrazující instalační příručku snímačů Renishaw

Prozkoumejte pomocí naší technické dokumentace technické specifikace našich optických snímačů, včetně jejich možností a variant. Osvědčení o shodě poskytují další záruky závazků společnosti Renishaw kvalitě.

Technické dokumenty ke stažení

Boční pohled na uzavřený optický snímač FORTiS™ uvnitř obráběcího stroje

Zjistěte, jak umožňují optické snímače vynikající řízení pohybu v mnoha průmyslových odvětvích i aplikacích. Prozkoumejte živé ukázky produktů a procesů, které těží z technologií snímačů a bohatých zkušeností společnosti Renishaw.

Přednosti snímačů pro řízení pohybu

 

Kontaktujte ještě dnes náš prodejní tým

Obraťte se na místní kancelář, kde se dozvíte více informací a promluvíte si s odborníkem.