RLU – Kompakte Lasereinheit mit Glasfaserübertragung
Lasereinheiten von Renishaw bieten die herausragende Leistung von Verschiebungsinterferometern kombiniert mit der einfachen Installierbarkeit, wie sie von herkömmlichen Messsystemen mit Glasmaßstab oder Maßband bekannt ist.
Das RLE System ist ein einzigartiges homodynes Laserinterferometer, das speziell für den Einsatz als Wegmesssystem entwickelt wurde. Jedes RLE System besteht aus einer RLU Lasereinheit und einem oder zwei RLD10 Detektorköpfen, wobei das Detektorkopfmodell von den Anforderungen der jeweiligen Anwendung abhängig ist.
Die RLU-Lasereinheit, die als Einzel- oder Doppelachsenkonfiguration erhältlich ist, enthält eine Helium Neon (HeNe)-Laserquelle, Elektronik zur Stabilisierung, eine faseroptische Strahlführung und Elektronik zur Bestimmung der Achsenposition.
Der RLD Detektorkopf ist das Herzstück des optischen Messsystems. Er enthält die Interferometeroptik, eine einzigartige, mehrkanalige Strahlerkennungselektronik und eine integrierte Strahlsteuerung. Renishaw bietet drei Interferometerkonfigurationen (RLD10 Planspiegel, RLD10 Retroreflector und RLD10 Differenzial) sowie einen RLD10 Detektorkopf ohne Interferometer.
Vorteile und Merkmale
Kombinieren Sie den RLU10 oder RLU20 Laser mit RLD geeigneten Detektorköpfen für die Anwendung und erzielen Sie folgende Vorteile:
- Einfache Systemarchitektur – dank des einzigartigen Glasfaserübertragungssystems von Renishaw
- Schnelle Ausrichtung – Mit RLD Detektorköpfen können Laserstrahlen direkt zur Messachse montiert werden
- Kompakte Baugröße und leichte Einrichtung – Minimaler Platzbedarf und schnelle Installation
Dank Renishaws Messsystemen übertreffen wir ständig die Spezifikationen unserer Kunden. Wir möchten unseren Kunden den allerbesten Service bieten und führen einen Teil unseres kontinuierlichen Erfolgs auf die technologischen Fortschritte zurück, die Unternehmen wie Renishaw bieten.
Aerotech (USA)
RLU10 Laser
Der RLU10 Laser bietet eine Laser-Frequenzstabilität von ±50 nm/m über einen Zeitraum von einer Stunde, wodurch eine für die meisten Anwendungen „in Luft“ geeignete Leistung erzielt wird.
RLU10 im Überblick
| Faserlängen | 3 m oder 6 m* |
| Anzahl der Achsen | Einzel- oder Doppelachsen* |
| Laserquelle | HeNe der Klasse 2 |
| Ausgangssignale | Analoges / digitales Rechtecksignal |
| Geschwindigkeiten | Bis zu 2 m/s** |
* Werkseitig konfiguriert
** Von Version / Auflösung abhängig
RLU10 Leistung
Laserfrequenzstabilität (1 Minute) | ‹±10 nm/m |
Laserfrequenzstabilität (1 Stunde) | ‹±50 nm/m |
Laserfrequenzstabilität (8 Stunden) | ‹±50 nm/m |
Wellenlängenstabilität im Vakuum (über 3 Jahre) | ±0,1 µm/m |
Anwendung auf XY-Tischen
Suchen Sie nach einem geeigneten Laser-Wegmesssystem für eine Anwendung auf einem XY-Tisch in normaler Umgebung? Das RLE10-DX-XG wird häufig für diese Art von Anwendung verwendet. Dabei wird der RLU10 Laser mit zwei RLD10-A3-P9 RLD10 Planspiegelinterferometern kombiniert.
RLU20 Laser
Der RLU20 Laser bietet eine Laser-Frequenzstabilität von ±2 nm/m über eine Stunde, sodass eine herausragende Messleistung für die meisten Vakuumanwendungen erzielt wird.
RLU20 im Überblick
| Faserlängen | Nur 3 m* |
| Anzahl der Achsen | Einzel- oder Doppelachsen* |
| Laserquelle | HeNe der Klasse 2 |
| Ausgangssignale | Analog / digital |
| Geschwindigkeiten | Bis zu 2 m/s** |
* Werkseitig konfiguriert
** Von Version / Auflösung abhängig
RLU20 Leistung
| Laserfrequenzstabilität (1 Minute) | ‹±1 nm/m |
| Laserfrequenzstabilität (1 Stunde) | ‹±2 nm/m |
| Laserfrequenzstabilität (8 Stunden) | ‹±20 nm/m |
| Wellenlängenstabilität im Vakuum (über 3 Jahre) | ±0,1 µm/m |
Anwendung zur Differenzialmessung
Suchen Sie nach einem geeigneten Laser-Messsystem für Differenzialmessungen innerhalb einer Vakuumumgebung? Das RLE20-DX-XP System wird häufig für diese Art von Anwendung verwendet. Dabei wird der RLU20 Laser mit zwei RLD10-X3-DI Differenzial-Interferometern eingesetzt.
Konfiguration eines RLE Systems
Für den Betrieb als Verschiebungsinterferometer muss die Lasereinheit von Renishaw mit einem geeigneten Kopf für die Anwendung kombiniert werden. Die folgenden Optionen sollten bei der Konfiguration Ihres RLE Systems berücksichtigt werden:
- Laserquelle (RLU10 oder RLU20)
- Länge der Faser 3 m oder 6 m (nur RLE10)
- Kalibrierschein (gegen Aufpreis verfügbar)
- Planspiegel- oder Retroreflektor-Zieloptiken
- RLD Detektorkopf-Typ für jede Achse
- Strahlausgänge pro Achse (gilt nicht für den Differenzialinterferometer-Kopf)
Nutzen Sie unseren RLE Teilenummer-Generator zur Bestimmung des für Ihre Anwendung erforderlichen Kompensationssystems. Anhand dieser Nummer kann dann ein Angebot angefordert bzw. eine Bestellung aufgegeben werden.
Häufig gestellte Fragen (FAQs)
Welche Auflösung kann maximal mit einem RLE System erreicht werden?
Das RLE System in Verbindung mit dem RPI30 Parallel-Interface kann eine Auflösung von 38,6 Pikometer bei 1 m/s erreichen.
Kann ich einen Kalibrierschein für mein RLE System erhalten?
Ja, diese Anforderung kann bei der Bestellung eines neuen Systems angegeben werden. Bitte beachten Sie, dass für diesen Service eine zusätzliche Gebühr anfällt.
Soll ich in meinen Anwendungen eine Planspiegel- oder eine Retroreflektor-Zieloptik verwenden?
Die Wahl der Zieloptik richtet sich nach dem Anwendungstyp, da jede ihre eigenen Vorteile bietet. Ein Planspiegel eignet sich besser für Anwendungen mit XY-Tischen. Retroreflektoren eignen sich besser für die Winkelverstellung als Planspiegel und werden in der Regel an Linearachsen verwendet.
Welche Spiegel empfiehlt Renishaw für die Verwendung mit dem RLE System?
Renishaw bietet ein Sortiment an Spiegeln und Optiken passend für Ihre Anwendung. Unser Datenblatt zu Planspiegeln und Spiegelhalterungen enthält Informationen, die Sie für die individuelle Konfiguration eines Spiegels benötigen.
Zusätzliche Ressourcen
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Data sheet: RLU10 laser unit [en]
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Data sheet: RLU20 laser unit [en]
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Data sheet: RLE system performance [en]
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Case study: VAD Instrument chooses Renishaw’s UHV optical encoders for motion platforms [en]
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Case study: Encoders hold the key to ultra-accurate motion control [en]
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Case study: RLE20 interferometer enhances performance of Raith’s latest e-beam tool [en]
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Data sheet: Traceability chart: RCU10, XC-80, RLE and HS20 [en]
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