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Interferometrische Laser-Messsysteme

Renishaws Laser-Messsysteme wurden für die fortschrittliche Bewegungssteuerung in Anwendungen konzipiert, die höchste Präzision in mehreren Freiheitsgraden erfordern

Unsere RLE Systeme bieten hochleistungsfähige Lösungen für die Positionsmessung in modernsten Fertigungsumgebungen. Aufbauend auf mehreren Jahrzehnten der Innovationskraft bieten unsere Laser-Messsysteme eine robuste Lösung für die präzise Positionsmessung in einer Vielzahl von Anwendungen.

Unsere Systeme genießen das Vertrauen weltweit führender Unternehmen in den Bereichen Halbleiterfertigung, Synchrotronforschung sowie Luft- und Raumfahrtausrüstung. Sie bieten die erforderliche Genauigkeit und Stabilität, um selbst anspruchsvollste Spezifikationen zu erfüllen.

Erweitern Sie Ihre Möglichkeiten mit unseren Laser-Messsystemen und entsprechendem Zubehör

RLE und RLD Laser-Messsysteme auf Sockeln
RLE Laserinterferometer für die Waferprüfung
Auf Maschinenbett installiertes RLE Messsystem zur Durchführung eines Tests

Das RLE Laser-Messsystem ist ein einzigartiges, modernes homodynes Laserinterferometer-System, das speziell für den Einsatz als Wegmesssystem entwickelt wurde.

RLE10 und RLE20 Laser

Das Mehrachsen-Periskop ermöglicht Messungen in sechs Freiheitsgraden zur Anwendung auf XY-Tischen unter Verwendung von drei DI Interferometer-Köpfen.

Mehrachsen-Periskop

Das HS20 Laser-Wegmesssystem von Renishaw verbindet die ultimative Genauigkeit eines Laserinterferometers mit der Robustheit, die für Werkzeugmaschinenanwendungen notwendig ist.

HS20 Long-Range Laser-Wegmesssystem

Bibliothek zur technischen Unterstützung für interferometrische Laserprodukte

Hier finden Sie Leitfäden, unterstützende Dokumente und Downloads für unsere Laser-Messsysteme.

Bibliothek zur technischen Unterstützung

Was ist ein Laser-Messsystem?

Ein Laser-Messsystem ist ein Wegmesssystem, das Laserinterferometrie nutzt, um Positionen mit höchster Präzision zu bestimmen. Diese Systeme eignen sich ideal für Anwendungen, bei denen Genauigkeit im Nanometerbereich, Systemflexibilität und Umweltbeständigkeit von entscheidender Bedeutung sind.

Bei Renishaw kombinieren wir die herausragende Leistung von Verschiebungsinterferometern mit der einfachen Installation, wie sie von herkömmlichen Messsystemen bekannt ist. Wir haben daher umfangreiche Erfahrungen gesammelt, um die Anforderungen im Bereich der Bewegungssteuerung und genauen Positionierung von XY-Positioniertischen für verschiedene Kundenanwendungen in der Halbleitertechnik, Luft- und Raumfahrt, Präzisionsfertigung und Forschung zu erfüllen.

Wissenswertes zu Laser-Messsystemen

Wir haben es uns zur Aufgabe gemacht, die Laserinterferometrie zu vereinfachen, und wissen, dass die Auswahl eines Laser-Messsystems ein komplexer Prozess ist. Wir bieten wertvolle Informationen, um zu erklären auf welcher Grundlage unsere Produkte funktionieren und wie sie zur Verbesserung Ihrer Prozesse beitragen können.

Lesen Sie Wissenswertes zu Laser-Messsystemen, um mehr über die Funktionsweise eines Renishaw RLE Systems zu erfahren, das eine patentierte „externe“ Laserquelle nutzt, um eine verbesserte Messleistung zu erzielen.

RLD10 Differenzialinterferometer

Was spricht für Laser-Messsysteme von Renishaw?

Renishaws Laser-Messsysteme wurden entwickelt, um komplexe Motion-Control-Systeme in verschiedensten Branchen zu unterstützen.

Laser-Messsysteme ermöglichen lineare Positionsmessungen in einer hohen Auflösung mit einem geringen zyklischen Fehler. Sie verbinden die Messgenauigkeit eines interferometrischen Systems mit der einfachen Installierbarkeit und Verwendung, wie sie von herkömmlichen Messsystemen mit Glasmaßstab oder Maßband bekannt ist.

Symbol hohe Genauigkeit
Symbol Zielmarken zur Justage
Symbol einer Zielscheibe mit 3 Punkten in der Mitte zur Veranschaulichung der Wiederholpräzision

Hohe Genauigkeit

Messsysteme von Renishaw zeichnen sich durch eine innovative Bauweise aus und nutzen fortschrittliche Technologien zur Fehlerminimierung. Anwender können dadurch eine hervorragende Präzision und Auflösung erreichen.

Einfache Einrichtung

Die RLE und HS20 Laser-Wegmesssysteme ermöglichen eine robuste, intuitive und anwenderfreundliche Ausrichtung, die für eine schnelle, vereinfachte Installation sorgt und wertvolle Zeit spart.

Hohe Wiederholgenauigkeit

Renishaws Laser-Messsysteme bieten eine überragende Wellenlängenstabilität und gewährleisten konstante Messgenauigkeit für jede Anwendung.

RLE Installation und Ausrichtung

Installations- und Anwendungssupport

Renishaw steht Ihnen mit Service und Support zur Seite, wo immer Sie und Ihre Kunden sich befinden. Wir setzen uns dafür ein, dass Sie alles erhalten, was nötig ist.

Unsere örtlichen Teams bieten:

  • Vertrieb und Kundendienst
  • Training und technischen Support
  • Ersatzteile und Reparaturdienstleistungen

Wir wissen, dass jede Messsysteminstallation anders ist. Wir bieten daher Detektorköpfe in Sonderanfertigung an, um die speziellen Anforderungen von OEM-Kunden zu erfüllen.

Qualität und Konformität

Beim Kauf eines interferometrischen Laser-Messsystems und entsprechenden Zubehörs von Renishaw erhalten Sie ein bewährtes, qualitätsgesichertes System.

Ein gutes Kundenvertrauen benötigt Qualitätssicherung und eine solide Rückverfolgbarkeit. Das ist der Grund, warum wir unsere gesamten Kalibrierprodukte durch nationale Normungslaboratorien überprüfen lassen. So können Sie zuversichtlich eine gültige Dokumentation vorlegen, welche die Qualität und Zuverlässigkeit Ihrer Fähigkeiten belegt.

Informationen zu Qualität und Konformität

RLE Installation und Ausrichtung
Service und Support - Suchfeld

Service und Nachkalibrierung

Renishaw bietet eine breite Palette an Reparatur-Dienstleistungen an, um fortlaufende Leistungsfähigkeit zu gewährleisten und um Sie bei Ihrer Qualitätssicherung und Ihren geschäftlichen Anforderungen zu unterstützen. Sämtliche Reparaturen an Laser-Messsystemen werden von unseren Fachtechnikern ausgeführt. Neben Standardreparaturen ist ein Reparatur-Austausch-Service (RBE) für verschiedene Produkte als kosteneffektive Reparaturoption erhältlich.

Informationen zu unserem Service

Messsysteme für die Positions- und Bewegungssteuerung

Positionsmesssysteme können verschiedene Sensortechniken nutzen: Renishaw ist auf optische und laserbasierte Messsysteme spezialisiert. Unser Angebot an optischen, magnetischen und laserbasierten Messsystemen hoher Qualität bietet die richtige Motion-Control-Lösung für Sie!

Positions- und Bewegungssteuerung

 

Kontaktieren Sie noch heute unser Vertriebsteam

Für weitere Informationen setzen Sie sich bitte mit Ihrer Niederlassung in Verbindung und sprechen Sie mit einem Experten.