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Optische Messsysteme für mehrere Freiheitsgrade (Multi Degrees of Freedoum, Multi-DoF) Systeme

Optische Messsysteme für mehrere Freiheitsgrade führen Messungen in bis zu 6 Freiheitsgraden (6DoF) aus. Erfahren Sie, wie die mit den einzigartigen RXMA 1.5D Maßverkörperungen ausgestattete Multi-DoF-Messtechnik von Renishaw hochpräzise Positionsmessungen bei Anwendungen mit dynamischer Bewegung ermöglicht.

Absolute Kontrolle von Anwendungen mit dynamischer Bewegung

Renishaw hat ein vollabsolutes Multi-DoF-Messsystem entwickelt. Es verfügt über eine oder mehrere RXMA 1,5D Maßverkörperungen, die von den bewährten RESOLUTE™ Absolut-Messsystemen gelesen werden. Diese Kombination ermöglicht eine fortschrittliche Positionsmessung in mehreren Freiheitsgraden, ohne die zeitaufwändigen Referenzierzyklen, die bei Inkremental-Messsystemen häufig erforderlich sind. RXMA Maßverkörperungen für Absolut-Messsysteme verwenden einen Untergrund mit niedrigem Ausdehnungskoeffizienten für eine hervorragende thermische Stabilität.

Entwickelt für Hochleistungsanwendungen

Das Multi-DoF-Absolut-Messsystem von Renishaw eignet sich ideal für hochleistungsfähige Antriebssysteme. Extrem dynamische Anwendungen wie die in der Halbleiterindustrie eingesetzten XY-Positioniertische erfordern äußerste Genauigkeit und Wiederholbarkeit, um Qualitäts- und Produktivitätsvorgaben zu erfüllen. Durch die Möglichkeit, jede Achse in mehreren Freiheitsgraden zu messen, können Maschinenhersteller Fehlerquellen wie die Geradheit von Linearführungen dynamisch erfassen. Multi-DoF Messsysteme von Renishaw ermöglichen die In-Prozess-Kompensation entstandener Abweichungen in Verfahr- und Drehbewegungen. Damit tragen sie dazu bei, die Prozessfähigkeit aufrechtzuerhalten und den Durchsatz zu steigern.

Multi-DoF encoder scale with wafer
Multi-DoF Skala mit zwei RESOLUTE™ Encoder-Leseeinheiten (X, Y)

Absolute X- und Y-Achsenmessung

RXMA30 Maßverkörperungen verfügen über zwei orthogonale Strukturen der Teilungsperiode, die direkte Positionsmessungen in der X- und Y-Achse ermöglichen. Eine unabhängige Messung der primären linearen Freiheitsgrade kann einige messtechnische Vorteile bieten. Beispielsweise sind Messungen auf der Y-Achse unempfindlich gegenüber thermischer Ausdehnung, wie sie typischerweise auf der längeren X-Achse auftreten.

Einfache elektrische und mechanische Installation

Renishaws Ansatz der Messung in mehreren Freiheitsgraden kombiniert verschiedene Achsen zur einfacheren Integration in den Regelkreis. Die direkte Messung der X- und Y-Achse ermöglichen eine komfortable Signalverarbeitung und bieten Kompatibilität mit verschiedenen seriellen Interfaces.

Maschinenkonstrukteure können Abtastköpfe passend für die jeweiligen Anforderungen der Anwendung positionieren, da die einzelnen Abtastköpfe unabhängig voneinander arbeiten. Kabel mit seitlichem Ausgang und Endausgang lassen sich kombinieren, was die Kabelführung für jede Achse vereinfacht.

Multi-DoF-System mit 3 RESOLUTE-Abtastköpfen unter dem Halbleiterwafer-Schatten

Absolut-Messsysteme für mehrere Freiheitsgrade: Abtastköpfe und Maßverkörperungen

Messsysteme für mehrere Freiheitsgrade bestehen aus mindestens einer 1.5D Maßverkörperung und mindestens zwei Abtastköpfen. Die maximale Länge einer Maßverkörperung für den Abtastkopf des Absolut-Messsystems und die Maßverkörperung ist nachfolgend dargestellt:

RESOLUTE™ optische Messsysteme

RESOLUTE™ Abtastkopf

(30 µm Teilungsperiode)

Hohe Genauigkeit

Hohe Geschwindigkeit

RXMA Multi-DoF-Encoder-Skala

RXM

Maßverkörperung für mehrere Freiheitsgrade

1.5D Glasmaßstab

Minimale thermische Ausdehnung

Hohe Wiederholgenauigkeit

X-Achse = 350 mm

Y-Achse = 4 mm

Umfassende Renishaw-Lösungen für die Messung in mehreren Freiheitsgraden

Renishaw ist Ihr Partner für Messtechnik im Bereich leistungsstarker Bewegungssysteme mit einem Angebot an verschiedenen Technologien, maßgeschneidert für die spezifischen Anforderungen Ihrer Anwendung.

Renishaw bietet unterschiedlichste Lösungen für die Messung in mehreren Freiheitsgraden: Lasersysteme, optische Messsysteme und Laser-Wegmesssysteme.

  • Renishaws XM-60 und XM-600 Multiachsen-Lasermesssysteme ermöglichen Herstellern die Messung von Abweichungen in sechs Freiheitsgraden, um eine hochgenaue Prozessgrundlage zu schaffen.
  • Messsysteme für mehrere Freiheitsgrade gewährleisten eine außergewöhnlich genaue prozessbegleitende Positionsmessung und -überwachung für eine optimale Leistung im Betrieb.
  • Das RMAP Periskop für mehrere Achsen kombiniert drei Laserinterferometer-Köpfe zur Messung von linearen Positionen, Nick- und Gierwinkeln auf XY-Hochleistungstischen.


Horizontal stage on linear stage
Zwei Hände halten ein Tablet, auf dem eine Installationsanleitung für ein Renishaw Messsystem angezeigt wird

Laden Sie unsere technischen Dokumente herunter, um sich über die technischen Spezifikationen unserer optischen Messsysteme, ihre Optionen und Varianten zu informieren. Unsere Konformitätszertifikate geben Ihnen eine zusätzliche Garantie für das Qualitätsversprechen von Renishaw.

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Seitenansicht des optischen FORTiS™ Messsysteme in geschlossener Bauweise in einer Werkzeugmaschine

Erfahren Sie, wie optische Messsysteme eine hervorragende Bewegungssteuerung in einer Vielzahl verschiedener Branchen und Anwendungen ermöglichen. Sehen Sie an Beispielen aus der Praxis, wie Produkte und Prozesse von der Technologie der Messsysteme und umfangreichen Erfahrung von Renishaw profitieren.

Vorteile von Messsystemen für die Positions- und Bewegungssteuerung

 

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