UHV-kompatible optische Messsysteme
Für reine Hochvakuum-Umgebungen und minimale Ausgasung
Alle UHV-kompatiblen Messsysteme von Renishaw wurden zur Verwendung mit verschiedenen wissenschaftlichen, Halbleiter- und anderen fortschrittlichen Industrieanwendungen für Vakuum bis 10-10 Torr konzipiert.
Die grundlegenden Funktionsweisen sind dieselben wie die für die entsprechenden Normalklima-Produkte; allerdings wurden die UHV-Ausführungen aus speziellen sauberen, vakuumtauglichen Materialien und Klebstoffen so konzipiert, dass geschlossene Hohlräume vermieden wurden. Eine Tauglichkeitsprüfung der Produkte in UHV-Umgebungen wird von einer unabhängigen Prüfstelle, einschließlich eines Restgasanalysen-Spektrumtests, durchgeführt (auf Anfrage erhältlich).
Die Produktreihe umfasst inkrementelle Messsysteme sowie optische Absolut-Messsysteme in offener Ausführung.
Es werden viele hochwertige Messsystemprodukte angeboten, aber nur wenige sind auch mit Vakuumanwendungen kompatibel. Das TONiC UHV-Messsystem von Renishaw bietet hervorragende Ergebnisse und Zuverlässigkeit und ist unsere beste Wahl.
VAD Instruments, Südkorea
Inkrementelle UHV-Messsysteme
TONiC™ UHV-kompatible offene Messsysteme
Das TONiC UHV-Messsystem ist eine speziell modifizierte Variante der TONiC Messsystembaureihe. Es bietet:
- Kompatibilität mit einer Vielzahl von Maßverkörperungen:
- Linear: RTLC Edelstahlmaßband, RKLC schmales Edelstahlmaßband, RELM ZeroMet Maßstab, RSLM Edelstahlmaßstab
- Rotativ (Winkelmessung): RESM Edelstahlmessring, REXM hochgenauer Edelstahlmessring
Absolute UHV-Messsysteme
RESOLUTE™ UHV-Messsysteme in offener Ausführung
Das RESOLUTE UHV-Messsystem ist eine speziell modifizierte Variante der RESOLUTE Messsystembaureihe. Es bietet:
- Serielle BiSS® C und Panasonic Schnittstellen
- Kompatibilität mit einer Vielzahl von Maßverkörperungen:
- Linear: RTLA Edelstahlmaßband, RELA ZeroMet Maßstab, RSLA Edelstahlmaßstab
- Rotativ (Winkelmessung): RESA Edelstahlmessring, REXA hochgenauer Edelstahlmessring
Schauen Sie sich unsere Einführung zu optischen RESOLUTE UHV Absolut-Messsystemen an
RGA-Ergebnisse für RESOLUTE UHV Messsysteme
Renishaw bietet RGA (Restgasanalyse)-Daten für verschiedene RESOLUTE Vakuumsysteme. Daraus geht hervor, welche Auswirkung das Messsystem auf eine Vakuumumgebung hat.
RGA-Ergebnisse
Prüfablauf
Ein Quadrupol-Massenspektrometer (AccuQuad 200 RGA) wurde verwendet, um RGA (Restgasanalyse)-Daten zu erfassen. Der Kammerdruck wurde mit einem Ionisationsvakuummeter (G8130) gemessen. Nach einer anfänglichen Konditionierung wurde ein Hintergrundspektrum zusammen mit dem Gesamtdruck in der Testkammer aufgenommen.
Die Komponente wurde in das Vakuumsystem (0,0035 m3) gesetzt, das dann mithilfe einer Dioden-/Ionenpumpe des Typs KJL Lion 802 (800/s) und einer Membranpumpe des Typs Divac bei Raumtemperatur 24 Stunden lang ausgepumpt wurde, woraufhin erneut eine Hintergrundabtastung durchgeführt und der Gesamtdruck in der Testkammer aufgezeichnet wurde. War der Systemdruck besser als 5 x 10-9, wurde das Testexemplar bei 120 °C 48 Stunden lang gebacken. Anschließend wurde gewartet, bis das System auf Raumtemperatur heruntergekühlt war, bevor eine letzte Messung des Massenspektrums und des Gesamtdrucks durchgeführt wurde. Die abschließenden RGA-Aufzeichnungen sind nachfolgend dargestellt.
HINWEIS:
Eine exakte Wiederholung dieser Ergebnisse ist unwahrscheinlich, da die RGA-Daten von dem Zustand, der Spezifikation und Leistung des Vakuumsystems abhängen. Jedoch zeigen die Testergebnisse der Restgasanalyse keine nennenswerten, auf RESOLUTE UHV zurückzuführende Verunreinigung und machen deutlich, dass UHV-Bedingungen auch bei Vorhandensein dieses Produktes erzielt werden können.
