Spiegels en optieken
Renishaw levert een aantal optieken en spiegels om oplossingen te bieden voor uw specifieke toepassing van het RLE laserencodersysteem.
Vlakke spiegels
Door Renishaw geleverde vlakke spiegels worden gefabriceerd op een glazen ondergrond met lage thermische uitzetting en hebben een harde, diëlektrische oxidecoating.
Kenmerken en voordelen
- Thermisch stabiel - de productie-ondergrond met lage thermische uitzetting minimaliseert fouten als gevolg van wisselende omgevingscondities.
- Sterk reflecterend - sterk reflecterend spiegeloppervlak (> 97%) voor ultieme resultaten.
- Gemakkelijk te bevestigen - Renishaw spiegelbevestigingen bieden een eenvoudige oplossing voor installatie en uitlijning.
Afmetingen
| Dwarsdoorsnede | 25 mm x 25 mm |
| Optische opening | 60 mm tot 380 mm (10 mm intervallen) |
Specificatie
| Lokale vlakheid | < λ/10 over gebied 12 mm breed x 7 mm hoog ( λ = 633 nm) |
| Totale vlakheid | < λ/10 per 100 mm, < 0,5 µm per 500 mm |
| Dwarspolarisatie | < 0,5% |
| Reflectiviteit | > 97% van invallende bundel |
| Materiaal | Glas met lage thermische uitzetting |
Spiegelbevestigingen
Voor de bevestiging en correcte uitlijning van spiegels op het bewegingssysteem levert Renishaw verstelbare bevestigingen voor gebruik met spiegels tot 350 mm lengte.
De bevestigingen hebben een dwarsdoorsnede van 25 mm x 25 mm. Ze zijn ±2,5° te verdraaien en ±1° hellend in te stellen. (de werkelijke correctiefactor hang af van de spiegellengte).
Door Renishaw geleverde spiegelbevestigingen zijn niet vacuümcompatibel.
Kenmerken en voordelen
- Gemakkelijk uit te lijnen - ingebouwde helling- en draaiingcorrectie om het uitlijnen van de spiegel te versnellen.
- Stabiele bevestiging - biedt de spiegel een stabiele ondergrond, rekening houdend met thermische uitzetting.
- Niet beperkend - de spiegel stevig vastklemmen op twee vlakken verlaagt de spanning op de spiegel. Dit minimaliseert het risico dat de spiegel verbuigt na de montage.
Vacuümkamervenster van 39 mm
De RLE laserencoder met glasvezel maakt gebruik van interferometrie voor een lineaire terugkoppeling met hoge resolutie.
De RLD10-X3-DI differentiële interferometer is ontworpen voor montage op de wand van een vacuümkamer. Via een vacuümkamervenster kunnen de laserbundels zich bewegen tussen de detectorkop en de meetspiegel. Vacuümkamervensters zijn ook te gebruiken met andere interferometerkoppen waarbij de RLD detectorkop binnen een vacuümkamer moet meten, zoals de RVI20 vacuümcompatibele interferometer.
Renishaw produceert zelf geen vacuümkamervensters, en koopt daarom zijn vacuümkamervenster van 39 mm in volgens een speciale specificatie die de prestaties van het RLE lasersysteem met optische glasvezel maximaliseert.
Aanbevelingen voor montage
Renishaw adviseert het volgende voor de montage van het venster in een vacuümkamerwand.
- Monteer het venster niet onder spanning, want daardoor kan het venster vervormen en de bundel afwijken van zijn nominale verloop.
- Pas een O-ring toe op minstens één zijde van het venster, zodat er een goede afdichting is op de vacuümkamerwand.
15 mm DI periscoopunit
De periscoopunit vergroot de afstand tussen de meet- en referentiestralen van de RLD10-X3-DI differentiële interferometer detectorkop.
De unit gebruikt twee spiegels om de afstand met 15 mm te vergroten tot een totale scheiding van 29 mm (standaard RLD10-X3-DI afstand is 14 mm).
Kenmerken en voordelen
- Vergrote afstand - tot 15 mm vergroting mogelijk tussen meet- en referentiestralen.
- Sterk reflecterend - sterk reflecterende spiegels minimaliseren de afname van signaalsterkte tussen de meet- en referentiebundels.
- Standaardbevestiging - de periscoop heeft de standaardbevestiging van de DI detectorkop.
RVI20 vacuüm compatibele interferometer
De RVI20 is een voor vacuüm geschikte interferometer voor vlakke spiegels. Bij gebruik met de RLD10-A3-XX detectorkop wordt het mogelijk om het gehele meetpad binnen het vacuüm te houden.
De RVI20 is ontworpen voor bevestiging in de vacuümkamer. De laserbundel gaat van de RLD10-A3-XX detectorkop door een kamervenster naar de RVI20 en komt vervolgens op de vlakke spiegel.
Kenmerken en voordelen
- Relatieve metingen - maakt relatieve metingen mogelijk tussen twee machineonderdelen, zoals tool en werkstuk.
- Vacuümcompatibiliteit - compatibel met toepassingen in hoog vacuüm en geschikt voor bevestiging in vacuümkamer.
- Hoogwaardige optica - de RVI20 bevat het hoogwaardige interferometersysteem van Renishaw waarmee gewoonlijk de RLD detectorkop is uitgerust.
Ontdek onze reeks interferometrische laserencoders die ultieme nauwkeurigheid in lineaire positieterugkoppeling leveren.
Neem vandaag nog contact op met ons verkoopteam
Neem contact op met uw plaatselijke leverancier voor meer informatie en een gesprek met een expert.