アプリケーションノート： inVia ラマンマイクロスコープによる 炭化ケイ素（SiC）の分析 (pdf)
File size: 623 kB
Language: 日本語
Part number: AN177(JP)-02-D
炭化ケイ素の特性はその結晶構造（各種のポリタイプが存在）、結晶の質、内部の欠陥の数とタイプに応じて大きく変化します。炭化ケイ素の原材料とデバイスの製造業者が歩留まりを増加するためには、これらの特性をモニターしながらコントロールする必要があります。
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