個案研究: 空氣軸承運動平台 – 高精度的代名詞 (pdf)
檔案大小: 3.69 MB
語言: 中文(繁體)
產品編號: H-5650-0122
大家經常會在市場上看到精密設備標榜採用空氣軸承,到底什麼是空氣軸承呢?簡單來說,空氣軸承是一種使用空氣(或其它氣體)作為潤滑劑滑動、通過空氣氣膜到非接觸式支承作用的一種軸承。在眾多高端產業如半導體、面板、精加工等製程設備的運動平台都會經常看到空氣軸承的應用,平台上的滑座就像「坐」在氣膜上以懸浮的方式在平台上移動。這些平台為了達到整體性能的最大效益,一般都會配置線性馬達和光學尺。
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