個案研究： 空氣軸承運動平台 – 高精度的代名詞 (pdf)

大家經常會在市場上看到精密設備標榜採用空氣軸承，到底什麼是空氣軸承呢？簡單來說，空氣軸承是一種使用空氣（或其它氣體）作為潤滑劑滑動、通過空氣氣膜到非接觸式支承作用的一種軸承。在眾多高端產業如半導體、面板、精加工等製程設備的運動平台都會經常看到空氣軸承的應用，平台上的滑座就像「坐」在氣膜上以懸浮的方式在平台上移動。這些平台為了達到整體性能的最大效益，一般都會配置線性馬達和光學尺。