Zrcala in optika
Renishaw ponuja različno optično opremo in zrcala za potrebe specifičnih aplikacij z laserskimi dajalniki RLE.
Ravna zrcala
Ravna zrcala Renishaw so izdelana iz steklenega substrata z majhnim koeficientom temperaturnega raztezka, na katerega je nanesena trda in dielektrična oksidna prevleka.
Lastnosti in koristi
- Toplotna stabilnost – substrat z majhnim koeficientom temperaturnega raztezka zmanjšuje napake zaradi sprememb v okolju.
- Visoka odbojnost – površina zrcala je visokoodbojna (> 97 %) za vrhunsko zmogljivost.
- Preprosta montaža – nosilci zrcal Renishaw zagotavljajo preprosto rešitev za pripravo in poravnavanje.
Dimenzije
| Prerez | 25 mm x 25 mm |
| Optična odprtina | 60 mm do 380 mm (v korakih po 10 mm) |
Specifikacije
| Lokalna ravnost | < λ/10 na površini širine 12 mm in višine 7 mm (λ = 633 nm) |
| Celotna ravnost | < λ/10 na 100 mm, < 0,5 µm na 500 mm |
| Križna polarizacija | < 0,5% |
| Odbojnost | > 97% vpadnega žarka |
| Material | Steklo z majhnim temperaturnim koeficientom dolžinskega raztezka |
Nosilci zrcal
Renishaw za montažo zrcal na pogonsko-pozicionirne sisteme in pravilno poravnavo ponuja nastavljive nosilce, namenjene zrcalom do dolžine 350 mm.
Nosilci imajo prečni prerez 25 mm x 25 mm in omogočajo nastavitev zasuka okrog navpične osi do ±2,5° ter nastavitev zasuka okrog prečne osi ±1°.(Dejansko nastavitveno območje je odvisno od dolžine zrcala.)
Nosilci zrcal Renishaw niso primerni za vakuumske aplikacije.
Lastnosti in koristi
- Preprosta poravnava – vgrajena možnost nastavljanja v horizontalni in vertikalni ravnini pospešuje proces poravnavanja zrcal.
- Stabilna pritrditev – stabilni nosilci za zrcalo, ki po potrebi omogočajo temperaturne raztezke.
- Neomejujoče – varno vpetje zrcala na dveh ploskvah zmanjšuje napetosti v zrcalu.S tem se zmanjša tveganje upogibanja zrcala po vgradnji.
39 mm okno za vakuumsko komoro
Laserski dajalnik z optičnim vlaknom RLE uporablja interferometični princip za merjenje linearnega položaja z visoko ločljivostjo.
Diferencialni interferometer RLD10-X3-DI je zasnovan za montažo na steno vakuumske komore.Okno na vakuumski komori omogoča prehod laserskih žarkov med glavo detektorja in merilnim zrcalom.Okna za vakuumsko komoro lahko uporabljate tudi z drugimi različicami glav interferometra, ki zahtevajo detektorsko glavo RLD za merjenje v vakuumski komori, npr. interferometer RVI20 za delo v vakuumu.
Renishaw sam ne izdeluje oken za vakuumske komore, 39-milimetrsko okno za vakuumsko komoro pa zato zanj dobavlja zunanji proizvajalec po posebnih specifikacijah za največjo učinkovitost laserskega sistema z optičnim vlaknom RLE.
Priporočila za montažo
Renishaw pri montaži okna v steno komore priporoča naslednje.
- Okno ne sme biti vgrajeno pod napetostjo, da ne bi prišlo do deformacij in odstopanja žarka od nominalne lege.
- Vsaj na eni strani okna vakuumske komore vgradite obročno tesnilo za zatesnitev stene komore.
15 mm DI sestav periskopa
Sestav periskopa poveča zamik med merilnim in referenčnim žarkom detektorske glave diferencialnega interferometra RLD10-X3-DI.
Sestav ima dve zrcali, ki povečata zamik za 15 mm na skupaj 29 mm (standardni odmik pri RLD10-X3-DI je 14 mm).
Lastnosti in koristi
- Povečan zamik – zamik med merilnim in referenčnim žarkom se lahko poveča za dodatnih 15 mm.
- Visoka odbojnost – visokoodbojna zrcala zmanjšajo padec jakosti signala med merilnim in referenčnim žarkom.
- Standardna montaža – periskop uporablja standardno montažo detektorske glave DI.
Interferometer za vakuum RVI20
RVI20 je interferometrični sestav za ravna zrcala za delo v vakuumu.Pri uporabi z detektorsko glavo RLD10-A3-XX lahko celotna merilna pot ostane v vakuumskem okolju.
RVI20 je zasnovan za vgradnjo v vakuumsko komoro.Laserski žarek gre iz detektorske glave RLD10-A3-XX skozi okno na komori v RVI20 in nato na ravno zrcalo.
Lastnosti in koristi
- Relativne meritve – omogoča relativne meritve med dvema deloma stroja, kot sta orodje in obdelovanec.
- Primeren za vakuum – primeren za aplikacije v visokem vakuumu in za montažo v vakuumske komore.
- Visokokakovostna optika – RVI20 vsebuje Renishawov visokokakovosten interferometrični optični sestav, ki se običajno uporablja v detektorski glavi RLD.
Odkrijte našo ponudbo interferometričnih laserskih dajalnikov, ki zagotavljajo vrhunsko točnost pri meritvah linearnega pomika.
Povežite se z našimi komercialisti
Stopite v stik z lokalnim zastopništvom za več informacij in pogovor s strokovnjakom.