VIONiC™-pulsgivarserien
Pulsgivarserien VIONiC är Renishaws mest högpresterande inkrementella optiska pulsgivare. Den ger direkt digital positionsfeedback med överlägsen mätprestanda, hög driftshastighet och enastående tillförlitlighet. VIONiC-läshuvudet integrerar Renishaws beprövade filtereringsoptik och avancerad interpoleringsteknologi. Detta ger extremt lågt SDE (Sub-Divisional Error), utmärkt tålighet mot smuts och eliminerar behovet av ytterligare adaptrar eller separata gränssnitt.
VIONiC-läshuvuden är dessutom kompatibla med många olika linjära, partiell båge och roterande skalor från låg expansion ZeroMet™-skalor till högprecisions-REXM-ringar. Detta gör VIONiC-pulsgivarserien till det optimala valet för mångsidiga och överlägsna mätprestanda.
Extremt lågt SDE (Sub-Divisional Error)
VIONiC-pulsgivarserien integrerar Renishaws beprövade filtreringsoptik och signalbehandling för enastående mätprestanda. Avancerad interpoleringsteknologi erbjuder ett extremt lågt SDE (Sub-Divisional Error) på normalt < ±15 nm; lägst av alla Renishaw optiska pulsgivare.
Snabb drifthastighet och hög upplösning
VIONiC-läshuvuden har ett intelligent interpoleringschip för att ge upplösning upp till 2,5 nm, vilket erbjuder hög precision och reperterbarhet i alla typer av användning. Pulsgivaren finns tillgänglig med en maximal klockfrekvens på 50 MHz och arbetar vid hastigheter upp till 12 m/s. Hastigheter upp till 3,63 m/s är möjliga vid en upplösning på 0,1 μm, optimalt för att maximera genomströmningen i tillverkningsprocesser för halvledare.
Advanced Diagnostic Tool
VIONiC-pulsgivare är dessutom konstruerade med ett intuitivt autokalibreringsläge och de är lätta att installera. Tillvalet Advanced Diagnostic Tool ADTi-100 finns tillgängligt för feedback i realtid för pulsgivardata under installation eller för diagnostik på fältet.
Hitta ditt VIONiC-skalalternativ
Rak
Skaltyp | Skalnamn | Noggrannhet | Skalans upplösning | Termisk utvidgningskoefficient vid 20 °C | Skalans maxlängd |
Tejp i rostfritt stål med spåralternativ
| ±5 µm/m | 20 µm | 10,1 ±0.2 µm/m/°C | Upp till 10 m (> 10 m på begäran) | |
Smal tejpskala i rostfritt stål
| ±5 µm/m | 20 µm | Matchas till substratmaterialet när skalans ändar fästs med ändklämmor | Upp till 20 m (> 20 m på begäran) | |
ZeroMet givare
| RELM/RELE | ±1 µm för upp till 1 m, sedan ±1 µm/m | 20 µm | 0,75 ±0.35 µm/m/°C | Upp till 1,5 m |
Givare i rostfritt stål
| ±1,5 µm upp till 1 m, ±2,25 µm upp till 2 m, ±3 µm upp till 3 m, ±4 µm upp till 5 m | 20 µm | 10,1 ±0.2 µm/m/°C | Upp till 5 m |
Partiell båge
Skaltyp | Skalnamn | Noggrannhet | Skalans upplösning | Värmeutvidgningskoefficient vid 20 °C | Levererad längd |
Smal partiell båge-tejp i rostfritt stål
| ±5 µm/m | 20 µm | 10,1 ±0,2 μm/m/°C | Upp till 20 m (> 20 m på begäran) |
Roterande
Skaltyp | Skalnamn | Noggrannhet (beroende på ringdiametern) | Skalans upplösning | Termisk utvidgningskoefficient vid 20 °C | Ringdiameter |
Ring i rostfritt stål  | Graderingsnoggrannhet: ±3,97 till ±0,38 bågsekunder | 20 µm | 15,5 ±0.5 µm/m/°C | 52 till 550 mm | |
Ring med extremt hög noggrannhet av rostfritt stål  | REXM20/REXT20 | Installerad noggrannhet: (≥ 100 mm diameter) ±1 bågsekund | 20 µm | 15,5 ±0.5 µm/m/°C | 52 till 417 mm |
Advanced Diagnostic Tool ADTi-100 (säljs separat)
VIONiC-pulsgivarsystemet är kompatibelt med Advanced Diagnostic Tool ADTi-100- och ADT View-programvaran. De tillhandahåller heltäckande feedback för pulsgivardata i realtid för att hjälpa till vid mer utmanande installationer och diagnostik. Det intuitiva programvarugränssnittet kan användas för:
- Fjärrkalibrering
- Signaloptimering över hela axellängden
- Indikation av läshuvudets upplösning
- Gräns- och referensmarkeringsindikering
- Digital avläsning av pulsgivarens position (relativt till skalan)
- Övervakning av hastighet mot tid-diagrammet
- Export och sparande av data
Nyckelegenskaper
Hastighet
| Alternativ för klockad utmatning (MHz) | Maximal hastighet (m/s) | Minsta kantseparation* (ns) | |||||||||||
| D (5 μm) | X (1 μm) | Z (0,5 μm) | W (0,2 μm) | Y (0,1 μm) | H (50 nm) | M (40 nm) | P (25 nm) | I (20 nm) | O (10 nm) | Q (5 nm) | R (2,5 nm) | ||
| 50 | 12 | 12 | 12 | 7,25 | 3,63 | 1,81 | 1,45 | 0,906 | 0,725 | 0,363 | 0,181 | 0,091 | 25,3 |
| 40 | 12 | 12 | 12 | 5,80 | 2,90 | 1,45 | 1,16 | 0,725 | 0,580 | 0,290 | 0,145 | 0,073 | 31,8 |
| 25 | 12 | 12 | 9,06 | 3,63 | 1,81 | 0,906 | 0,725 | 0,453 | 0,363 | 0,181 | 0,091 | 0,045 | 51,2 |
| 20 | 12 | 12 | 8,06 | 3,22 | 1,61 | 0,806 | 0,645 | 0,403 | 0,322 | 0,161 | 0,081 | 0,040 | 57,7 |
| 12 | 12 | 10,36 | 5,18 | 2,07 | 1,04 | 0,518 | 0,414 | 0,259 | 0,207 | 0,104 | 0,052 | 0,026 | 90,2 |
| 10 | 12 | 8,53 | 4,27 | 1,71 | 0,850 | 0,427 | 0,341 | 0,213 | 0,171 | 0,085 | 0,043 | 0,021 | 110 |
| 08 | 12 | 6,91 | 3,45 | 1,38 | 0,690 | 0,345 | 0,276 | 0,173 | 0,138 | 0,069 | 0,035 | 0,017 | 136 |
| 06 | 12 | 5,37 | 2,69 | 1,07 | 0,540 | 0,269 | 0,215 | 0,134 | 0,107 | 0,054 | 0,027 | 0,013 | 175 |
| 04 | 12 | 3,63 | 1,81 | 0,730 | 0,360 | 0,181 | 0,145 | 0,091 | 0,073 | 0,036 | 0,018 | 0,009 | 259 |
| 01 | 4,53 | 0,910 | 0,450 | 0,180 | 0,090 | 0,045 | 0,036 | 0,023 | 0,018 | 0,009 | 0,005 | 0,002 | 1038 |
*För ett läshuvud med en kabel på 1 m
Extremt lågt SDE (Sub-Divisional Error)
Interpolerat fel – 10 felcykler
X-axel: Läshuvudposition (mm)
Y-axel: Fel (nm)