应用说明：ATOM™光栅 — 光栅微型化的创新先驱

2019年12月

在诸如半导体制造这类的现代化大批量生产工艺中，对生产设备占地面积的要求越来越严格，在追求生产效率最大化的同时还要不断提高精度和产量。

ATOM微型光栅于2014年推出，是雷尼绍体积最小的增量式光栅产品。目前它仍然是市场上最紧凑的光栅解决方案之一。ATOM系列光栅的安装过程简便、校准程序稳定可靠，并且由雷尼绍提供无与伦比的技术支持，所有这些特点都有助于令客户的产品制造和维护过程更加轻松。

本文探讨了ATOM光栅的先进制造技术，最后通过一则实例展示了ATOM光栅如何帮助简化REVO-2制造过程，同时保证优异的测量性能。