Codeurs optiques ultravides
Maintien de la propreté des environnements ultravides et minimisation des dégagements gazeux
Tous les produits de la gamme de codeurs Renishaw compatibles UHV sont conçus pour être utilisés dans diverses applications scientifiques, semi-conducteurs et autres applications industrielles avancées avec des pressions jusqu’à 10-10 Torr.
Les principes de fonctionnement fondamentaux sont les mêmes que ceux de nos produits équivalents pour atmosphère normale, mais les versions UHV sont conçues pour éliminer les vides sans prise d’air et sont spécialement fabriquées à partir de matériaux et d’adhésifs propres et compatibles au vide. L’adéquation des produits à une utilisation dans des environnements UHV est homologuée par un organisme d’essai spécialisé indépendant, au moyen notamment d’un essai du spectre RGA (analyse des gaz résiduels) (disponible sur demande).
La gamme est constituée de codeurs optiques ouverts incrémentaux et absolus.
De nombreux produits de codage de haute qualité sont disponibles sur le marché, mais peu d’entre eux sont également compatibles avec les applications sous vide. Combinant excellentes performances et grande fiabilité, le codeur TONiC UHV de Renishaw est notre meilleur choix.
VAD Instruments, Corée du Sud
Codeurs UHV incrémentaux
Systèmes de codage ouverts TONiC™ UHV
Le codeur TONiC UHV est une version spécialement modifiée de la gamme de codeurs TONiC. Il offre :
- Une compatibilité avec toute une gamme de règles :
- Linéaires : règle en acier inoxydable RTLC, règle flexible mince en acier inoxydable RKLC, règle solide en ZeroMet RELM, règle solide en acier inoxydable RSLM.
- Rotatives (angulaires) : anneau acier inoxydable RESM, anneau ultra-haute précision en acier inoxydable REXM
Codeurs UHV absolus
Systèmes de codage ouverts RESOLUTE™ UHV
Le codeur RESOLUTE UHV est une version spécialement modifiée de la gamme de codeurs RESOLUTE. Il offre :
- Des interfaces série BiSS® C et Panasonic.
- Une compatibilité avec toute une gamme de règles :
- Linéaires : règle en acier inoxydable RTLA, règle solide en ZeroMet RELA, règle solide en acier inoxydable RSLA.
- Rotatives (angulaires) : anneau acier inoxydable RESA, anneau ultra-haute précision en acier inoxydable REXA
Regardez notre présentation des codeurs absolus RESOLUTE UHV
Résultats RGA pour codeurs RESOLUTE UHV
Renishaw fournit des données RGA (analyse de gaz résiduels) pour divers systèmes sous vide RESOLUTE. Cela permet de mettre en évidence les effets du système de codage sur un environnement sous vide.
Résultats RGA
Programme de test
Un spectromètre de masse quadripolaire (AccuQuad 200 RGA) a été utilisé pour collecter des données RGA (analyse de gaz résiduels). La pression de la chambre a été mesurée avec une jauge d’ionisation (G8130). Après conditionnement initial du système, un spectre de fond a été enregistré avec la pression totale dans la chambre de test.
Le composant a été placé dans le système de vide (0,0035 m3), puis pompé à l’aide d’une pompe ionique diode KJL Lion 802 (800/s) et d’une pompe à membrane Divac à température ambiante pendant 24 heures, après quoi, un scan de « background » (fond continu) et la pression totale dans la chambre de test ont de nouveau été consignés. Le spécimen de test a de nouveau été étuvé à 120 °C pendant 48 heures en cas de pression système supérieure à 5 x 10-9 mbar. On a ensuite laissé le système refroidir à température ambiante avant de relever une mesure finale du spectre de masse et de la pression totale. Les scans RGA finaux sont illustrés ci-dessous.
REMARQUE :
Il ne faut pas s’attendre à obtenir une reproduction exacte de ces résultats, car les données RGA dépendent de l’état, des spécifications et des performances du système de vide. Toutefois, les résultats de l’analyse de gaz résiduels ne mettent pas en évidence une contamination significative attribuable au RESOLUTE UHV, et ces conditions UHV peuvent donc être obtenues en présence de ce produit.
