적용 사례: 첨단 정밀 측정과 제어의 핵심, TONiC™ 엔코더 (pdf)

최근 인공지능(AI), 5G 광대역 네트워크, 사물인터넷(IoT) 등 신기술의 급격한 발전으로 반도체에 대한 요구가 지속적으로 증가하고 있습니다. 장비 제조업체는 고정밀 첨단 제조 공정이 초래하는 심각한 문제를 해결할 수 있는 새로운 모델을 개발하기 위해 투자 규모를 점진적으로 늘려왔습니다. 핵심 반도체 제조 공정 장비로는 포토리소그래피용 듀얼 웨이퍼 스테이지, 웨이퍼 본딩 장비, 고급 레이저 어닐링 장비, 장비 프론트 엔드 모듈(EFEM) 등이 있습니다.