多自由度 (Multi-DoF) 光學尺
多 DoF（多自由度）光學尺系統最多可量測六個自由度 (6DoF)。歡迎深入瞭解 Renishaw 多自由度量測技術如何搭配獨一無二的 RXMA 1.5D 光學尺，為動態運動應用提供高效能的位置量測。
動態運動應用的絕對控制
Renishaw 精心打造真正的絕對式多自由度光學尺系統，採用一或多組 RXMA 1.5D 光學尺，由深獲市場肯定的 RESOLUTE™ 絕對式光學尺進行讀取。這項組合提供先進多自由度位置量測功能，無須如增量式光學尺進行耗時的返回原點循環。RXMA 絕對式光學尺使用低膨脹係數基材，提供卓越的熱穩定度。
專為高效能應用設計打造
Renishaw 絕對式多自由度光學尺系統非常適合用於高效能運動系統。例如半導體產業使用的 XY 雙軸平台等高動態應用，需要具備卓越的精度及重現性，以符合品質及生產力需求。透過沿著各軸向量測多個自由度，機器製造商就能動態量測誤差來源，例如線性導軌的真直度。Renishaw 多自由度光學尺能在製程內補償所產生的平移及旋轉誤差，協助維持製程功能及提升良率。
真正的 X 軸與 Y 軸量測
RXMA30 光學尺採用兩種正交光學尺圖形，能夠於 X 及 Y 軸直接量測位置。獨立量測主要的線性自由度可帶來量測效益。例如 ，Y 軸方向的量測不會受到通常較長的 X 軸產生的熱膨脹影響。
簡易的電氣與機械整合
Renishaw 多自由度量測方案結合彼此獨立且分離的軸向設計，使其更容易與控制迴路進行整合。對 X 與 Y 軸進行直接量測，可實現便利的訊號處理，並與多種序列通訊介面相容。
機械設計可依據應用需求設置讀頭，而個別讀頭可獨立運作，彼此互不影響。也可以透過配置結合使用末端或側邊出口的纜線，簡化各軸的佈線。
絕對式多 自由度 光學尺系統：讀頭及光學尺
多自由度光學尺系統至少包含一個 1.5D 光學尺及兩個或多個讀頭。絕對式讀頭及光學尺的最長光學尺的長度如下所示：
RESOLUTE™ 讀頭 （30 µm 柵距） 高精度 高速運作 |
RXM 多自由度光學尺 1.5D 玻璃光學尺 低膨脹係數 重複性高 X 軸 = 350 mm Y 軸 = 4 mm |
Renishaw 完整的多自由度計量解決方案
Renishaw 是您在高效能運動系統凡的量測合作夥伴，提供一系列技術滿足應用的特定需求。
Renishaw 提供各種多自由度量測解決方案：雷射校正儀、光學尺及雷射編碼器。
- XM-60 及 XM-600 多光束校正儀可協助製造商量測六個自由度的誤差，以建立高度精準的製程根基。
- 多自由度絕對式光學尺解決方案能夠在製程中提供卓越的位置量測及監控能力，確保設備在運作期間維持最佳效能。
- RMAP 多軸觀測鏡結合三個雷射干涉儀測頭，可用於量測高效能 XY 雙軸平台的線性位置、俯仰角和扭擺角。
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