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RLD10 Differenzialinterferometer

Differenzialinterferometer erlauben Messungen gegen eine definierte Referenz.

Der Differenzialkopf verfügt über ein einzigartiges optisches Prinzip zur Gewährleistung eines geringen zyklischen Fehlers. Integrierte Strahlsteueroptiken ermöglichen eine Kipp- und Gierwinkelausrichtung während der Einrichtung, wodurch der Ausrichtvorgang verbessert wird (nur für Planspiegelanwendungen geeignet).

Der Detektorkopf RLD10-X3-DI wird an der Außenwand einer Prozesskammer mittels einfacher 3-Stift-Montage angebracht. Zur Ausrichtung des Detektorkopfes ist kein Zugang zu der Kammer nötig - integrierte Strahlsteueroptiken erlauben die unabhängige Kipp- und Gierwinkelausrichtung des Referenz- und Messstrahles - und dank der speziellen Konzeption des Montagesystems kann der Detektorkopf mit nur minimaler Auswirkung auf die Systemausrichtung entfernt und wieder befestigt werden.

Vorteile und Merkmale

  • Herausragende Messleistung – Auflösung der Ausgabe bis 38,6 nm/m durch sehr gute Frequenzstabilität und extrem niedrigen zyklischen Fehler.
  • Differenzielle Konfigurationen – Misst die relative Position des Tisches zur Säule und beseitigt dadurch Gleichtaktstörungen wie die Bewegung der Seitenwand der Kammer infolge von wechselnden Umgebungsbedingungen.
  • Schnelle Ausrichtung – Einfache Ausrichtung außerhalb der Vakuumkammer mithilfe von vier integrierten Strahlsteueroptiken zum Ausgleich der Toleranzen bei der Kammer- und Spiegelmontage.

Spezifikationen

Verfahrweg der Achsen0 m - 1 m
Auflösung (Auflösung mit RLU konfiguriert)Analoges Rechtecksignal = λ/4 (158 nm)
Digitales Rechtecksignal = 10 nm
RPI20 Auflösung = 38,6 pm

Nichtlinearitätsfehler des Systems* (SDE)

*Interface ausgenommen

<±1 nm unter 50 mm/s mit >70% Signalstärke
<±6 nm bei 1 m/s mit >50% Signalstärke
HöchstgeschwindigkeitBis zu 1 m/s
Der Differenzialinterferometer-Detektorkopf wird häufig mit der RLU20 Lasereinheit von Renishaw konfiguriert. Die hohe Stabilität der RLU20 Laserquelle in Verbindung mit der Leistung des Differenzialinterferometer-Kopfes ist ideal für Messungen innerhalb von Vakuumkammern und anderen streng kontrollierten Umgebungen.

RLU Lasereinheiten

Erfahren Sie mehr über Renishaws Auswahl an Lasereinheiten. Sie verbinden die herausragende Leistung von Verschiebungsinterferometern mit einfacher Installierbarkeit und stellen damit eine praktische Lösung für Anwendungen dar, die höchste Messleistung erfordern.

RLU Lasereinheiten

RLE Zwei-Achsen-Planspiegelsystem

Zusätzliche Ressourcen

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