Encóderes ópticos de Ultra Alto Vacío
Mantenga entornos de alto vacío limpios y reduzca al mínimo de la emisión de gases
Todos los productos de la gama de encóderes compatibles con UHV de Renishaw están diseñados para una gran variedad de aplicaciones científicas, semiconductores y otras aplicaciones industriales avanzadas, con presiones de vacío hasta 10-10Torr.
Los principios básicos de funcionamiento son los mismos que en nuestros productos para atmósfera estándar equivalentes, pero los modelos UHV están diseñados para eliminar espacios no ventilados y fabricados específicamente con materiales y adhesivos compatibles con vacío. La idoneidad de los productos preparados para entornos de UHV se determina mediante un ensayo individual interno especializado, que incluye pruebas de espectro de Análisis de gas residual (RGA) (disponible por encargo).
La gama incluye encóderes incrementales y absolutos ópticos abiertos.
Existen muchos productos de encóder de alta precisión en el mercado, pero solo unos pocos son compatibles con aplicaciones de vacío. El encóder UHV TONiC de Renishaw proporciona un rendimiento y fiabilidad excelentes, por lo que es nuestra principal elección.
VAD Instrument, Corea de Sur
Encóderes UHV incrementales
Sistemas de encóder abierto TONiC™ UHV
El encóder TONiC UHV es una variante modificada expresamente de la serie de encóderes TONiC. Ofrece:
- Compatibilidad con una gama de reglas:
- Lineal: Cinta de acero inoxidable RTLC, cinta de acero inoxidable estrecha RKLC, regla ZeroMet rígida, regla de acero inoxidable rígida RSLM.
- Rotatoria (angular): Anillo de acero inoxidable RESM, anillo de acero inoxidable de precisión ultra-alta REXM.
Encóderes absolutos UHV
Sistemas de encóder abierto RESOLUTE™ UHV
El encóder RESOLUTE UHV es una variante modificada expresamente de la serie de encóderes RESOLUTE. Ofrece:
- Interfaces serie BiSS® C y Panasonic.
- Compatibilidad con una gama de reglas:
- Lineal: Cinta de acero inoxidable RTLA, regla ZeroMet RELA, regla de acero inoxidable rígida RSLA.
- Rotatoria (angular): Anillo de acero inoxidable RESA, anillo de acero inoxidable de precisión ultra-alta REXA.
Vea nuestra introducción de los encóderes absolutos RESOLUTE UHV
Resultados de RGA para encóderes UHV RESOLUTE
Renishaw facilita datos de RGA (análisis de gas residual) para varios sistemas de vacío RESOLUTE. Muestra el efecto que tiene el sistema de encóder en un entorno de vacío.
Resultados de RGA
Programación del ensayo
Se utiliza un espectrómetro de masa cuadrupolo (AccuQuad 200 RGA) para obtener los datos de RGA (análisis de gas residual). La cámara de presión se mide con un indicador de iones (G8130). Tras el acondicionamiento inicial del sistema, se registra un espectro de fondo con la presión total de la cámara del ensayo.
Se coloca el componente en el sistema de vacío (0,0035 m3) que, a continuación, se bombea con una bomba de iones de diodo KJL Lion 802 (800/s) y una bomba de diafragma Divac a temperatura ambiente durante 24 horas, tras las cuales, se vuelve a registrar una exploración de fondo y la presión total de la cámara del ensayo. Si la presión del sistema supera los 5 x 10-9 milibares, la muestra del ensayo se hornea a 120 ºC durante 48 horas. Se deja enfriar el sistema a temperatura ambiente antes del espectro de masa final y se mide la presión total. A continuación, se muestran las exploraciones de RGA finales.
NOTA:
La reproducción de estos resultados no es exacta, ya que los datos de RGA dependen de la condición, especificación y rendimiento del sistema de vacío. No obstante, el ensayo de resultados del Análisis de gas residual muestra que no existe una contaminación significativa atribuible al UHV de RESOLUTE y las condiciones de UHV que se obtienen con el uso de este producto.
