Encoder ottici per ultra alto vuoto
Mantenere ambienti di alto vuoto e ridurre al minimo l'outgassing
Tutti gli encoder Renishaw per compatibili per UHV sono stati sviluppati per l'utilizzo in molti settori scientifici ed industriali avanzati e possono affrontare pressioni fino a 10 -10 Torr.
I principi operativi fondamentali sono gli stessi dei nostri prodotti per applicazioni in atmosfere standard, ma le varianti UHV possono eliminare i vuoti e vengono costruite con materiali e adesivi compatibili con l'uso a cui sono destinati. L'idoneità all'utilizzo in ambienti UHV viene certificata da un'azienda specializzata indipendente, tramite una serie di test che includono anche l'analisi dei gas residui (RGA) (disponibile su richiesta).
La serie include encoder ottici aperti, incrementali e assoluti.
Sul mercato sono presenti molti encoder di alta qualità, ma solo una minima parte è anche compatibile con le applicazioni in vuoto. L'encoder TONiC UHV di Renishaw è una scelta ottimale che assicura prestazioni di eccellenza e grande affidabilità.
VAD Instruments, Corea del Sud
Encoder UHV incrementali
Encoder aperti TONiC™ UHV
TONiC UHV è una variante modificata dell'encoder TONiC. Include:
- Compatibilità con molte righe:
- Lineari: riga a nastro RTLC in acciaio inox, riga a nastro sottile RKLC in acciaio inox, riga rigida RELM in ZeroMet, riga rigida RSLM in acciaio inox.
- Rotative (angolari): anello RESM in acciaio inox, anello ultra accurato REXM in acciaio inox.
Encoder assoluti UHV
Encoder aperti RESOLUTE™ UHV
L'encoder RESOLUTE UHV è una variante modificata del modello RESOLUTE. Include:
- Interfacce seriali BiSS® C e Panasonic.
- Compatibilità con molte righe:
- Lineari: riga a nastro RTLA in acciaio inox, riga rigida RELA in ZeroMet, riga rigida RSLA in acciaio inox.
- Rotative (angolari): anello RESA in acciaio inox, anello ultra accurato REXA in acciaio inox.
Guarda la presentazione degli encoder assoluti RESOLUTE UHV
Risultati RGA degli encoder RESOLUTE UHV
Renishaw mette a disposizione i dati sui test RGA (analisi dei gas residui) di vari sistemi in vuoto RESOLUTE. Tali risultati mostrano l'effetto dell'encoder sugli ambienti in vuoto.
Risultati RGA
Pianificazione test
Per la raccolta dei dati RGA (analisi dei gas residui) è stato utilizzato uno spettrometro di massa a quattro poli (AccuQuad 200 RGA). La pressione della camera è stata misurata con un sensore ionico (G8130). Dopo il condizionamento iniziale del sistema, è stato registrato uno spettro di background oltre alla pressione totale della camera di test.
Il componente è stato posizionato nel sistema in vuoto (0,0035 m3) che è stato pompato con una pompa ionica a diodi KJL Lion 802 (800/s) ed una pompa diaframmatica Divac a temperatura ambiente per 24 ore. Trascorso questo intervallo di tempo, sono state nuovamente registrate la scansione di background e la pressione totale della camera di test. Se la pressione del sistema era superiore a 5 x 10-9 mbar, il campione di test veniva riscaldato a 120 °C per 48 ore. Il sistema veniva quindi fatto raffreddare a temperatura ambiente prima di effettuare la misura finale dello spettro della massa e della pressione totale. Di seguito vengono mostrate le scansioni RGA finali.
NOTA:
La riproducibilità di questi risultati non è da attendersi esatta, poiché i dati RGA dipendono dalle condizioni, dalle specifiche e dalle prestazioni del sistema in vuoto. Tuttavia, i risultati dell'analisi RGA non mostrano contaminazioni significative attribuibili a RESOLUTE UHV e indicano la possibilità di ottenere condizioni di ultra alto vuoto in presenza di questo prodotto.
