RCU10 실시간 직각 위상 보정 장치
실시간 직각 위상 위치 피드백용 보정 시스템

레이저 간섭계 시스템을 비진공 환경에서 사용할 때, 다양한 환경 여건에서 정확도를 유지하려면 몇 가지 방식의 환경 보정이 필요합니다. 간섭계의 원리는 레이저 빛의 파장에 따라 달라집니다. 숫자는 이동하는 공기의 굴절률에 따라 조금씩 변합니다.
대기 온도 ±1 °C, 대기압 ±3.3 mbar 또는 상대 습도에서 50% 변동에 따른 환경 요소 변화로 인해 레이저 파장 및 결과 측정값에서 1 ppm의 차이가 발생합니다.
광범위한 환경 조건에서 정확도를 유지하기 위해, RLE 레이저 엔코더 또는 HS20 장거리 레이저 엔코더는 주위 환경 변화로 인한 공기 굴절률 변동을 보정하는 RCU10 보정기과 함께 HS20을 사용해야 합니다.
RCU10 보정기는 환경 변수 센서를 사용하여 기계 주변의 환경을 감시하고 위치 피드백 신호에 대해 실시간 보정을 제공합니다. 입력 및 출력 매개변수는 Renishaw 구성 소프트웨어(RCU-CS)로 구성됩니다.
기능 및 이점
- 정확도 - 대기압 및 온도 센서를 사용한 레이저 엔코더의 굴절률 보정을 통해 ±1 ppm 범위 이내로 정확도를 향상시킵니다.
- 수율 개선 - 물체 온도 센서를 사용한 공작물 및 기계 구조물에 대한 열팽창 보정을 통해 공정 반복정도가 대폭 개선됩니다.
- 유연성 - RSU10은 디지털 직각 위상 피드백 신호를 제공하는 수많은 레이저 및 스케일 엔코더를 사용한 보정에도 사용할 수 있습니다.
RCU10 시스템 구성
RCU10 시스템을 정의할 때 다음과 같은 옵션을 고려해야 합니다.
- RCU10 보정 장치는 통합형 압력 센서와 함께 또는 없이 사용 가능(각각 RCU10-PX-XX 및 RCU10-XX-XX)
- 다축 시스템의 경우, 고속 직렬 통신 링크를 통해 RCU10 6개까지 연결할 수 있습니다. 다축 시스템의 일부로 사용할 경우, RCU10-PX-XX 한 개만 필요합니다.
- 공기 온도 센서
- 물질 온도 센서
견적 요청 또는 주문 시에 사용할 수 있는 RCU10 품목 번호 생성기를 사용하여 응용 분야에 맞는 시스템을 파악할 수 있습니다.
사양
| 특성 | 굴절률 보정 물질 팽창 보정 |
| 정확도 | ±1 ppm* |
| 데이터 형식 | 디지털 - RS422 직각 위상 아날로그 - 1 Vpp 사인/코사인 |
| 분해능 | 디지털 - 10 nm까지 가변적 아날로그 - 20 µm까지 가변적 |
| 속도 | 최대 5 m/s |
추가적인 선택 사양
| 부품 번호 | 설명 |
| A-8014-0670 | 직렬/USB 어댑터 |
| RCU10-DB-XX | 센서분배 박스 |
| RCU10-AC-X5 | 강화 센서 케이블(5 m 길이) |
| RCU10-AT-XX | 대기 온도 전송 장치 |
| RCU10-MT-XX | 물체 온도 전송 장치 |
* 디지털 출력의 경우 ±3 입력 카운트와 ±1 출력 카운트 중 큰 값을 더하고 아날로그 출력의 경우 발생하는 오차에 따른 속도를 더합니다.
소프트웨어 다운로드
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Software download: RCU CS v2.0.5 [en]
RCU CS is the RCU10 configuration software. It allows all the parameters and operational modes to be configured before the RCU10 may be used. It also provides an operational display to monitor the compensation process, environment and error status.
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