RMAP 다축 잠망경
Renishaw의 다축 잠망경을 사용하여 고성능 XY 스테이지에서 매우 정밀하고 반복 가능한 6자유도 측정을 수행하십시오.
다축 잠망경(RMAP)은 여러 간섭계에서 빔이 차지하는 면적을 최소화하여 XY 스테이지 애플리케이션 내 6자유도 측정을 실현시켜 줍니다. 다축 잠망경은 RLU 레이저 장치와 세 개의 RLD10-X3-DI 간섭계 헤드를 사용하여 피치, 편요각 및 리니어 위치를 정확하게 측정할 수 있습니다.
앵귤러 범위가 ±30 arc second인 다축 잠망경은 대부분의 고성능 스테이지와 호환되며 스테이지를 추가로 최적화합니다. 다축 잠망경에 있는 하나의 장착 면을 사용하여 진공 챔버나 계측 프레임에 쉽고 빠르게 설치할 수 있습니다.
앵귤러 측정에 RLD10-X3-DI 헤드를 사용하면 레이저 주파수 편차와 환경적 변동으로 인해 발생하는 오차가 두 경로 사이에서 동일합니다. 따라서 두 개의 독립적인 빔으로부터 계산된 각편차에 비해 정확도와 반복정도가 계산됩니다.
기능 및 이점
소형 빔 풋프린트 – 18 mm x 35 mm로 줄어들어 대상 미러의 크기와 무게가 최소화됩니다.
손쉬운 설치 – 진공 챔버 외부에 직접 장착하고 4개의 볼트로 고정시키도록 설계되었습니다.
고성능 – 독립적인 RLD10-X3-DI 헤드를 사용하면 기존 방법에 비해 정확도와 반복정도가 개선됩니다.
간섭계 레이저 엔코더
Renishaw의 레이저 간섭계 엔코더는 리니어 위치 피드백에서 최상의 정확도를 제공합니다. Renishaw의 다양한 고품질 간섭계 레이저 엔코더 및 장거리 레이저 중에서 적합한 모션 제어 솔루션을 찾아보십시오.
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