Interferômetro diferencial RLD10

O cabeçote diferencial é projetado com um esquema óptico exclusivo a fim de permitir um baixo desempenho de SDE. Alinhadores integrados de feixe permitem um ajuste de angularidade vertical e horizontal durante a configuração, o que incrementa o processo de alinhamento (somente adequado para aplicações de espelho plano).

O cabeçote detector RLD10-X3-DI foi projetado para ser montado na parede externa de uma câmara de processo através de uma fixação simples de três pinos. Não é necessário entrar na câmara para alinhar o cabeçote detector - sistemas integrados de alinhamento do feixe permitem o ajuste independente da inclinação e rotação dos feixes de referência e medição - e o projeto do sistema de montagem permite que o cabeçote detector seja removido e reposicionado com efeito mínimo sobre o alinhamento do sistema.

Recursos e benefícios

• Metrologia excepcional - estabilidade de frequência ppb e erro cíclico ultra reduzido, permitindo resoluções de saída de até 38,6 pm.
• Configurações diferenciais - medem a posição relativa da base em relação à coluna e, assim, eliminam erros de modo comuns, como a movimentação da parede lateral da câmara associada a flutuações ambientais.
• Alinhamento rápido - alinhamento simples, por fora da câmara de vácuo, utilizando quatro sistemas de alinhamento de feixe integrados para contornar as tolerâncias de montagem da câmara e espelho.

Especificação