Periscópio multieixos RMAP
O periscópio multieixos (RMAP) permite medições com seis graus de liberdade em aplicações de mesa XY, minimizando a área de incidência do feixe proveniente de vários interferômetros. Utilizando uma unidade laser RLU e três cabeçotes interferométricos RLD10-X3-DI, o periscópio multieixos pode medir com exatidão a rotação angular no plano vertical (pitch), rotação angular no plano horizontal (yaw) e a posição linear.
Com um campo angular de ±30 arco segundos, o periscópio multieixos é compatível com a maioria das mesas de alto desempenho, otimizando ainda mais o seu desempenho. Uma única face de montagem permite que o periscópio multieixos seja instalado de forma rápida e fácil em uma câmara de vácuo ou estrutura de metrologia.
A utilização do cabeçote RLD10-X3-DI para medições angulares permite que os erros gerados a partir da variação de frequência do laser e mudanças ambientais sejam comuns à duas trajetórias. Isto melhora a exatidão e repetibilidade em comparação com os desvios angulares calculados a partir de dois feixes independentes.
Recursos e benefícios
Espaço compacto do feixe – reduzido a 18 mm por 35 mm, para minimizar as dimensões e peso dos espelhos alvo.
Fácil instalação – projetado para ser montado diretamente na parte externa da câmara de vácuo e fixado com quatro parafusos.
Alto desempenho – a utilização de cabeçotes RLD10-X3-DI independentes melhora a exatidão e repetibilidade em relação aos métodos convencionais.
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