Preskoči navigacijo

Diferencialni interferometer RLD10

Diferencialni interferometri omogočajo meritve glede na izbrano referenco.

Diferencialna glava ima edinstveno optično zgradbo za majhno napako interpolacije. Integrirani usmerjevalniki žarka omogočajo nastavitev v horizontalni in vertikalni ravnini za izboljšano poravnavanje (primerno le za aplikacije z ravnim zrcalom).

Detektorska glava RLD10-X3-DI je zasnovana za montažo na zunanjo steno procesne komore s preprosto tritočkovno pritrditvijo. Za poravnavo detektorske glave ni potreben vstop v komoro - vgrajeni usmerjevalniki žarkov omogočajo neodvisno nastavitev referenčnega in merilnega žarka v dveh ravninah. Sistem je zasnovan tako, da se detektorsko glavo lahko odstrani in ponovno namesti z minimalnim vplivom na samo poravnavo sistema.

Lastnosti in koristi

  • Izjemne merilno-tehnične lastnosti – stabilnost frekvence velikostnega reda ppb in ultra nizka ciklična napaka omogočata izhodne ločljivosti do 38,6 pm.
  • Diferencialne konfiguracije – meri relativni položaj mize glede na steber in odpravlja skupne napake, kot je npr. gibanje stranske stene komore zaradi okoljskih nihanj.
  • Hitra poravnava – preprosta poravnava zunaj vakuumske komore s štirimi vgrajenimi usmerjevalniki žarkov za kompenzacijo toleranc montaže komore in zrcala.

Specifikacije

Hod osi0–1 m
Ločljivost (konfigurirana z RLU)Analogni kvadraturni signal = λ/4 (158 nm)
Digitalni kvadraturni signal = 10 nm
Ločljivost RPI20 = 38,6 pm

Napaka nelinearnosti sistema* (SDE)

*brez vmesnika

< ±1 nm pod 50 mm/s pri jakosti signala > 70 %
< ±6 nm pri 1 m/s z jakostjo signala > 50 %
Največja hitrostDo 1 m/s
Detektorska glava diferencialnega interferometra se pogosto kombinira z laserskim virom Renishaw RLU20. Visoka stabilnost laserskega vira RLU20 v povezavi z zmogljivostjo glave diferencialnega interferometra zagotavlja idealno izbiro za meritve v vakuumskih komorah in drugih strogo nadzorovanih okoljih.

Informacije o izdelkih

Sorodni izdelki

RLU10
Laser RLU
Laserska enota RLU je na voljo v enoosni in dvoosni konfiguraciji, vključuje pa HeNe (helij/neon) laserski vir, stabilizacijsko elektroniko, priključek za steklena vlakna in elektroniko za merjenje položaja osi.
RMAP-3A multi-axis periscope
Večosni periskop RMAP
Večosni periskop Renishaw omogoča meritve s šestimi prostostnimi stopnjami pri aplikacijah z XY-mizami in izkorišča zmogljivost glave interferometra RLD10-X3-Di za točno merjenje odklonov okrog prečne, navpične in vzdolžne osi.
Detektorska glava RLD10 z izhodom pod kotom 90°
Retroreflektorski interferometer RLD10
RLD10-RRI (retroreflektorski interferometer) je enoprehodni interferometer, namenjen aplikacijam, ki zahtevajo uporabo retroreflektorja (na primer aplikacijam z daljšim dosegom ali visoko hitrostjo).
Detektorska glava RLD10 z izhodom pod kotom 0°
RLD10 brez internega interferometra
Detektorska glava RLD10-XX (brez internega interferometra) je zasnovana brez vgrajene interferometrične optike. Glava se tako lahko uporabi v zaporedju z namensko optiko za linearne in kotne meritve ter meritve premosti.