RLD10 differential-interferometer

Differentialhuvudet är konstruerat med ett unikt optiskt utförande för att uppnå låg SDE-prestanda. Integrerade strålriktare möjliggör justering av lutning och tippning under inställningen vilket förbättrar uppriktningsprocessen (endast lämpligt för planspegelapplikationer).

Detektorhuvudet RLD10-X3-DI har konstruerats för att fästas vid ytterväggen på en processkammare med en enkel trestiftsmontering. Du behöver inte gå in i kammaren för att rikta detektorhuvudet – integrerade strålinriktare medger separat inställning av lutning och gir för referens- och mätstrålen – och monteringssystemets konstruktion medger att detektorhuvudet tas bort och flyttas med minimal effekt på systemets inriktning.

Egenskaper och fördelar

• Exceptionell mätteknik - ppb-frekvensstabilitet och extremt lågt cyklisk fel som möjliggör utmatningsupplösningar på 38,6 pm.
• Differentialkonfigurering - mäter den relativa positionen för scenen relativt till pelaren, och eliminerar därmed sådana vanliga lägesfel som rörelse i kammarsidoväggen som har samband med variationer i omgivningsförhållandena.
• Snabb uppriktning - enkel uppriktning från utanför vakuumkammaren med 4 integrerade strålriktare för att hantera monteringstoleranser för kammare och spegel.

Specifikation