Hoppa över navigering

RLD10 differential-interferometer

Differentialinterferometrar möjliggör mätning relativt till en definierad referens.

Differentialhuvudet är konstruerat med ett unikt optiskt utförande för att uppnå låg SDE-prestanda. Integrerade strålriktare möjliggör justering av lutning och tippning under inställningen vilket förbättrar uppriktningsprocessen (endast lämpligt för planspegelapplikationer).

Detektorhuvudet RLD10-X3-DI har konstruerats för att fästas vid ytterväggen på en processkammare med en enkel trestiftsmontering. Du behöver inte gå in i kammaren för att rikta detektorhuvudet – integrerade strålinriktare medger separat inställning av lutning och gir för referens- och mätstrålen – och monteringssystemets konstruktion medger att detektorhuvudet tas bort och flyttas med minimal effekt på systemets inriktning.

Egenskaper och fördelar

  • Exceptionell mätteknik - ppb-frekvensstabilitet och extremt lågt cyklisk fel som möjliggör utmatningsupplösningar på 38,6 pm.
  • Differentialkonfigurering - mäter den relativa positionen för scenen relativt till pelaren, och eliminerar därmed sådana vanliga lägesfel som rörelse i kammarsidoväggen som har samband med variationer i omgivningsförhållandena.
  • Snabb uppriktning - enkel uppriktning från utanför vakuumkammaren med 4 integrerade strålriktare för att hantera monteringstoleranser för kammare och spegel.

Specifikation

Axelrörelse0 m - 1 m
Upplösning (upplösning konfigurerad med RLU)Analog kvadratur = λ/4 (158 nm)
Digital kvadratur = 10 nm
RPI20 upplösning = 38,6 pm

Systemets icke-linearitetsfel* (SDE)

*exklusive gränssnitt

<±1 nm under 50 mm/sek. med >70 % signalstyrka
<±6 nm vid 1 m/sek. med >50% signalstyrka
Maximal hastighetUpp till 1 m/s
Detektorhuvudet med differentialinterferometer används ofta med Renishaw RLU20. Den höga stabiliteten hos RLU20-laserkällan, i kombination med prestandan hos differentialinterferometer-huvudet, är det idealiska valet för mätningar i vakuumkammare och andra noggrant kontrollerade miljöer.

Produktinformation

Andra intressanta punkter

RLU10
RLU-laser
RLU-laserenheten finns i utföranden för enkla eller dubbla axlar, och innehåller en HeNe-laserkälla (helium/neon), stabiliseringselektronik, elektronik för start via fiberoptik och för avläsning av axellägessignaler.
RMAP-3A multi-axis periscope
Fleraxligt periskop RMAP
Renishaws fleraxliga periskop är konstruerat för att möjliggöra mätningar med 6 frihetsgrader i XY-planapplikationer, och använder prestandan från interferometerhuvudet RLD10-X3-Di för att noggrant mäta tippning, girning och lutning.
RLD10 detektorhuvud med 90°-utgång
RLD10 retroreflektor-interferometer
RLD10-RRI (retroreflektor-interferometer) är en enkelkörningsinterferometer konfigurerad för applikationer där en retroreflektor behövs (till exempel applikationer med längre avstånd eller hög hastighet).
RLD10 detektorhuvud med 0°-utgång
RLD10 ingen intern interferometer
Detektorhuvudet RLD10-XX (ingen intern interferometer) är konstruerat utan intern interferometer-optik. Detta möjliggör att huvudet används i en sekvens med specialoptik för att utföra linjär, vinkel- och rakhetsmätning.