光學尺系列
線性光學尺
RTL(不鏽鋼光學尺)
光學尺名稱 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹係數(20 °C 時) | 供應長度 | 讀頭相容性 |
RTLF-S
| 20 μm:±5 μm/m 40 µm(高精度):±5 µm/m 40 μm:±15 μm/m | 20 µm/40 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 長達 10 m(可依要求供應 10 m 以上長度) | ATOM、ATOM DX |
RTLC-S ![]() | 20 μm:±5 μm/m 40 µm(高精度):±5 µm/m 40 μm:±15 μm/m | 20 µm/40 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 長達 10 m(可依要求供應 10 m 以上長度) | |
RTLA-S ![]() | 30 μm:±5 µm/m | 30 µm/50 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | RESOLUTE:長達 21 m EVOLUTE:長達 10.02 m |
RTL FASTRACK™(不鏽鋼光學尺搭配選購的軌道)
光學尺名稱 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹係數(20 °C 時) | 供應長度 | 讀頭相容性 |
RTLC 搭配選購的 FASTRACK ![]() | 20 μm:±5 μm/m 40 μm(高精度):±5 µm/m | 20 µm/40 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 長達 10 m(可依要求供應 10 m 以上長度) | |
RTLA 搭配選購的 FASTRACK ![]() | 30 μm:±5 µm/m 50 μm:±10 µm/m | 30 µm/50 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | RESOLUTE:長達 21 m EVOLUTE:長達 10.02 m |
RKL(精細型不鏽鋼光學尺)
光學尺名稱 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹係數 | 供應長度 | 讀頭相容性 |
RKLC-S、RKLR-S ![]() | 20 μm:±5 μm/m 40 μm(高精度):±5 µm/m 40 μm:±15 μm/m | 20 µm/40 µm | 以端蓋固定光學尺尾端時,能符合基板材質 | 長達 20 m(可依要求供應 20 m 以上長度) | |
RKLF-S ![]() | 20 μm:±5 μm/m 40 μm(高精度):±5 µm/m 40 μm:±15 μm/m | 20 µm/40 µm | 以端蓋固定光學尺尾端時,能符合基板材質 | 長達 10 m(可依要求供應 10 m 以上長度) | ATOM、ATOM DX |
RKLA-S ![]() | ±5 μm/m | 30 µm | 以端蓋固定光學尺尾端時,能符合基板材質 | 最長達 21 m | RESOLUTE |
部分弧線光學尺
旋轉光學尺
RES(不鏽鋼環)
光學尺名稱 | 一般安裝精度*(視環的直徑而定) | 柵距 | 熱膨脹係數(20 °C 時) | 環直徑 | 讀頭相容性 |
RESM ![]() | (直徑 300 mm)±3.1 弧秒 | 20 µm/40 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52 mm 至 550 mm | |
RESA30 ![]() | (直徑 300 mm)±3.1 弧秒 | 30 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52 mm 至 550 mm |
*「一般」安裝是刻度及安裝誤差結合一定程度取消效應的結果。
REX(超高精度不鏽鋼環)
光學尺名稱 | 一般安裝精度*(視環的直徑而定) | 柵距 | 熱膨脹係數(20 °C 時) | 環直徑 | 讀頭相容性 |
REXM20/REXT20 ![]() | (直徑 ≥ 100 mm)±1 弧秒 | 20 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52 mm 至 417 mm | |
REXA30 ![]() | (直徑 ≥ 100 mm)±1 弧秒 | 30 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52 mm 至 417 mm |
*「一般」安裝是刻度及安裝誤差結合一定程度取消效應的結果。
RCDM(玻璃盤)
光學尺名稱 | 柵距 | 熱膨脹係數(20 °C 時) | 圓盤外徑 | 讀頭相容性 |
RCDM ![]() | 20 µm/40 µm | ~8 µm/m/°C | 17 mm 至 108 mm |
多 DoF 光學尺
RXM(1.5D 玻璃光學尺)
光學尺名稱 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹係數(20 °C 時) | 供應長度 | 讀頭相容性 |
RXMA30 | X 軸 = 長達 ±3 μm/m | 30 µm | 小於 ±1 μm/m/°C | X 軸 = 350 mm、Y 軸 = 4 mm |


















