Miroirs et optiques
Renishaw propose plusieurs optiques et miroirs répondant à votre application spécifique de système de codage laser RLE.
Miroirs plans
Les miroirs plans fournis par Renishaw sont fabriqués sur un substrat en verre à faible niveau de dilatation et possèdent une couche diélectrique en oxyde dur.
Caractéristiques et avantages
- Stabilité thermique - Fabriqué sur un substrat à faible dilatation thermique qui minimise les erreurs dues aux variations ambiantes.
- Hautement réfléchissant - Surface de miroir hautement réfléchissante (> 97%) donnant les meilleures performances possibles.
- Facile à monter - Les montures de miroir Renishaw constituent une solution simple de réglage et d’alignement.
Dimensions
| Coupe | 25 mm x 25 mm |
| Ouverture optique | 60 mm à 380 mm (en incréments de 10 mm) |
Caractéristiques
| Planéité locale | < λ/10 sur une surface de 12 mm de largeur x 7 mm de hauteur (λ = 633 nm) |
| Planéité totale | < λ/10 par 100 mm < 0,5 µm par 500 mm |
| Polarisation croisée | > 0,5% |
| Réflectivité | > 97% du faisceau incident |
| Matériau | Verre à faible niveau de dilatation |
Montures de miroirs
Pour assurer une installation des miroirs et bien les aligner sur le système moteur, Renishaw offre des montures réglables avec des miroirs allant jusqu’à 350 mm de long.
Les montures présentent une section transversale de 25 mm x 25 mm et permettent un réglage de jusqu’à ± 2,5° pour le lacet et de ± 1° pour le tangage. (La plage de réglage réelle dépend de la longueur du miroir.)
Les montures de miroir fournies par Renishaw ne sont pas compatibles avec le vide.
Caractéristiques et avantages
- Facile à aligner - Un réglage intégré de tangage et de lacet permet d’accélérer le processus d’alignement du miroir.
- Monture stable - Fondations solides pour le miroir autorisant sa dilatation thermique s’il y a lieu.
- Non-restrictif - Le serrage du miroir sur deux faces permet de réduire la contrainte dans le miroir. Le risque de courber le miroir une fois monté est ainsi minimisé.
Fenêtre de chambre de vide 39 mm
Le codeur laser à fibre optique RLE utilise l’interférométrie pour produire des données de positions linéaires haute résolution.
L’interféromètre différentiel RLD10-X3-DI est conçu pour être monté contre la paroi de la chambre de vide. La fenêtre de la chambre de vide laisse les faisceaux laser passer entre la tête de détection et le miroir de mesure. Les fenêtres de chambre de vide peuvent aussi s’utiliser avec d’autres versions de tête d’interféromètre, la tête de détection RLD étant nécessaire pour mesurer à l’intérieur d’une chambre de vide, comme l’interféromètre compatible au vide RVI20.
Même si Renishaw ne fabrique aucune fenêtre de chambre de vide, la fenêtre de chambre de vide de 39 mm a été choisie conformément à un cahier de charges personnalisé, afin de maximiser les performances du système laser à fibre optique RLE.
Recommandations de montage
Renishaw vous recommande d’observer les consignes suivantes pour monter la fenêtre de chambre de vide contre la paroi de la chambre.
- La fenêtre ne doit pas être soumise à contrainte susceptible de la déformer et de faire dévier le faisceau par rapport à la valeur nominale.
- Un joint torique doit être placé d’au moins un côté de la fenêtre de chambre de vide, pour créer et maintenir l’étanchéité de la paroi de la chambre de vide.
Ensemble périscope 15 mm DI
L’ensemble périscope augmente le décalage entre les faisceaux de mesure et de référence de la tête de détecteur RLD10-X3-DI d’interféromètre différentiel.
L’ensemble emploie deux miroirs pour augmenter le décalage de 15 mm afin de produire une séparation totale de 29 mm (le décalage standard RLD10-X3-DI est de 14 mm).
Caractéristiques et avantages
- Décalage accru - Permet un décalage supplémentaire de 15 mm entre la mesure et le faisceau de référence.
- Hautement réfléchissant - L’utilisation de miroirs hautement réfléchissants minimise la chute de puissance du signal entre les faisceaux de mesure et de référence.
- Monture standard - Le périscope maintient la monture de la tête de détection DI standard.
Interféromètre RVI20 compatible au vide
Le RVI20 est un ensemble interférométrique compatible au vide pour miroirs plans. Lorsqu’il est utilisé avec la tête de détection RLD10-A3-XX, il permet de conserver la trajectoire complète de mesure dans l’environnement sous vide.
Le RVI20 a été conçu pour être installé dans la chambre de vide. Le faisceau laser passe de la tête de détecteur RLD10-A3-XX par une fenêtre de la chambre dans le RVI20 puis sur le miroir plan.
Caractéristiques et avantages
- Mesures relatives - Elles permettent des mesures relatives entre deux parties de la machine, l’outil et à pièce à usiner par exemple.
- Compatibilité au vide - Compatible avec les applications en ultra-vide et convient à une installation en chambre sous vide.
- Optique haute qualité - Le RVI20 renferme l’ensemble optique d’interféromètre haute qualité Renishaw normalement utilisé dans la tête de détecteur RLD.
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