超高真空対応タイプ光学式エンコーダ

空気などの気体が存在が製品の品質に影響を及ぼすプロセスもあり、圧力を厳密に制限した環境で行われることが求められます。そしてそこでモーションコントロールが関わる場合、真空対応タイプのエンコーダが欠かせません。

クリーンな高真空環境を維持、気体放出を抑制

レニショーの超高真空 (UHV) 対応タイプエンコーダシリーズは、最大 10^-10Torr の真空圧力の、科学、半導体等、さまざまな高度産業分野に使用できるように設計されています。

基本的な作動原理は標準環境用製品と同じですが、UHV 対応製品は、空気を密封した空間が排除されており、クリーンな真空対応材と接着剤を使用して特別に製造されています。この製品を UHV 環境を使用するうえでの適性は、残留ガス分析 (RGA) スペクトルテストなどにより、外部の専門試験機関によって実証されています (要望に応じて結果を送付します)。

インクリメンタル方式、アブソリュート方式両方の光学式オープンタイプエンコーダをご用意しております。

高性能なエンコーダは市場に多数ありますが、真空に対応している製品は数えるほどしかなく、レニショーさんの TONiC UHV は性能と信頼性の両面で非常に優れており、我々としては他の製品は考えられません

VAD Instrument 社 (韓国)

UHV 対応タイプインクリメンタルエンコーダ

TONiC™ UHV エンコーダシステム

TONiC エンコーダの派生バージョンです。以下のような特徴があります。

幅広いスケールに対応:
- リニア: RTLC ステンレススチールテープ、RKLC スリムステンレススチールテープ、RELM ZeroMet スケール、RSLM ステンレススチールスケール。
- ロータリ: RESM ステンレススチールリング、REXM 超高精度ステンレススチールリング。

TONiC の詳細

UHV 対応タイプアブソリュートエンコーダ

RESOLUTE™ UHV エンコーダシステム

RESOLUTE エンコーダの派生バージョンです。以下のような特徴があります。

BiSS® C および Panasonic シリアルインターフェースに対応。
幅広いスケールに対応:
- リニア: RTLA ステンレススチールテープ、RELA ZeroMet スケール、RSLA ステンレススチールスケール。
- ロータリ: RESA ステンレススチールリング、REXA 超高精度ステンレススチールリング。

RESOLUTE の詳細

RESOLUTE UHV の概要紹介

RESOLUTE UHV エンコーダの RGA の試験結果

レニショーでは、各種 RESOLUTE 真空システムの RGA (残留ガス分析) データを提供しています。真空環境へのエンコーダシステムの影響を示すデータです。

RGA の試験結果

試験の詳細

RGA (残量ガス分析) データの収集には質量分析計 (AccuQuad 200 RGA) を使用。真空室圧力はイオンゲージ (G8130) で測定。最初のシステム調整後、空の試験真空室のデータをバックグラウンドスペクトルとして使用。

真空システム (0.0035m³) にコンポーネントを配置。周囲温度にて 24 時間にわたり KJL Lion 802 (800/s) ダイオードイオンポンプと Divac ダイヤフラムポンプにて真空状態にし、その後、バックグラウドデータを再度記録。システム圧力が 5×10^-9mbar よりよければ、試験片を 120℃で 48 時間ベーキング。その後システムを周囲温度にまで下げ、最終的な質量スペクトルと全測定圧を記録。最終的な RGA データの結果を下記に示します。

注:

RGA データは真空システムの条件、仕様、性能に依存するため、これらの結果は厳密に再現はされません。しかし、RGA (残量ガス分析) の結果からは、RESOLUTE UHV が原因と見られる深刻な汚染は確認されず、この製品により UHV 条件を確保できることが示されました。