用户指南： XM-60和XM-600多光束激光干涉仪 (pdf)
Dimensioni file: 10,09 MB
Lingua: 中文（简体）
Numero di codice: F-9921-0208
XM系统只需一次设定即可沿线性轴同时测量6个自由度的误差。它具有强大的诊断工具，通过一次采集就可以测量轴的所有几何误差。
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