Specchi e ottiche
Renishaw commercializza una vasta linea di ottiche e specchi, per ottimizzare l'encoder laser RLE a qualsiasi tipo di applicazione.
Specchi piani
I nostri specchi piani sono prodotti con un substrato di vetro a basso coefficiente di espansione con rivestimento dielettrico duro.
Funzioni e vantaggi
- Stabilità termica: prodotto con un substrato a basso coefficiente di espansione, riduce al minimo gli errori dovuti alle variazioni ambientali.
- Alta riflettività: superficie dello specchio altamente riflettente (>97%) per prestazioni che non temono confronto.
- Facilità di montaggio: supporti di facile installazione e allineamento.
Dimensioni
| Sezione trasversale | 25 x 25 mm |
| Lunghezza utile | Da 60 a 380 mm (con incrementi da 10 mm) |
Specifiche
| Planarità locale | < λ/10 su un'area larga 12 mm e alta 7 mm ( λ = 633 nm) |
| Planarità totale | < λ/10 per 100 mm, <0,5 µm per 500 mm |
| Polarizzazione trasversale | < 0,5% |
| Riflettività | > 97% di fascio incidente |
| Materiale | Vetro con basso coefficiente di espansione termica |
Supporti
Per consentire l'installazione e il corretto allineamento degli specchi, forniamo supporti regolabili che possono essere utilizzati con specchi lunghi fino a 350 mm.
I supporti devono avere una sezione trasversale di 25 x 25 mm e consentire regolazioni dell'imbardata di almeno ±2,5° e del beccheggio di almeno ±1°. L'intervallo effettivo dipende dalla lunghezza dello specchio.
I supporti forniti da Renishaw non sono compatibili con applicazioni in vuoto.
Funzioni e vantaggi
- Facilità di allineamento: la regolazione integrata di beccheggio e imbardata accelera la procedura di allineamento dello specchio.
- Stabilità del supporto: basi che garantiscono allo stesso tempo stabilità e libertà di espansione termica.
- Nessuna restrizione: la possibilità di fissare saldamente lo specchio su due lati, riduce le sollecitazioni e il rischio di deformazioni dopo l'installazione.
Finestra per camera a vuoto da 39 mm
L'encoder laser a fibre ottiche RLE sfrutta l'interferometria per produrre feedback lineari ad alta risoluzione
L'interferometro differenziale RLD10-X3-DI va montato sulla parete della camera a vuoto che presenta una finestra che consente ai fasci laser di passare attraverso il rilevatore e lo specchio di misura. Le finestre della camera a vuoto possono essere utilizzate anche con altri tipi di rilevatore interferometrico in cui RLD deve effettuare la misura all'interno di una camera in vuoto, come nel caso dell'interferometro RVI20 compatibile per applicazioni in vuoto.
Renishaw non produce finestre per camere a vuoto. Quella da 39 mm viene fabbricata secondo specifiche personalizzate per massimizzare le prestazioni del laser a fibre ottiche RLE.
Consigli di montaggio
Renishaw fornisce le seguenti raccomandazioni per il montaggio della finestra per camera in vuoto all'interno della parete della camera.
- La finestra non deve rimanere in tensione, altrimenti subire distorsioni e causare deviazioni del fascio rispetto alle specifiche nominali.
- Utilizzare una guarnizione O-ring su almeno un lato della finestra, per sigillare la parete della camera in vuoto.
Gruppo periscopio DI da 15 mm
Il gruppo periscopio aumenta l'offset fra i fasci di misura e di riferimento del rilevatore per interferometro differenziale RLD10-X3-DI.
Il gruppo sfrutta due specchi per aumentare l'interasse di 15 mm e produrre una separazione totale di 29 mm.
Funzioni e vantaggi
- Più spazio: consente un interasse di 15 mm aggiuntivo tra il fascio di misura e quello di riferimento.
- Elevata riflettività: l'uso di specchi altamente riflettenti riduce al minimo la diminuzione dell'intensità del segnale tra il fascio di misura e quello di riferimento.
- Montaggio standard: il periscopio mantiene il montaggio del rilevatore DI standard.
Interferometro RVI20 compatibile per applicazioni in vuoto
RVI20 è un interferometro a specchi piani, compatibile con applicazioni in vuoto. Se utilizzato in combinazione con il rilevatore RLD10-A3-XX, consente di mantenere l'intero percorso di misura all'interno dell'ambiente in vuoto.
RVI20 è stato progettato per montaggio all'interno della camera a vuoto. Il fascio laser passa dal rilevatore RLD10-A3-XX al gruppo RVI20 attraverso una finestra della camera e quindi arriva allo specchio piano.
Funzioni e vantaggi
- Misure relative: possibilità di ottenere misure relative tra due parti della macchina, quali utensile e pezzo.
- Compatibilità con applicazioni in vuoto: è compatibile con applicazioni in alto vuoto e adatto al montaggio all'interno della camera in vuoto.
- Ottiche di alta qualità - RVI20 include il gruppo ottico di alta qualità dell'interferometro Renishaw, che solitamente viene utilizzato all'interno della testa del rilevatore RLD.
Gli encoder laser interferometrici forniscono la massima accuratezza in fatto di feedback di posizione lineare.
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