ミラーと光学系
レニショーでは、RLE レーザーエンコーダのための多種多様なミラーや光学系をラインナップしています。
平面鏡
レニショーの平面鏡は、熱膨張率が低いガラスをベースに製造され、硬質酸化誘電体コーティングが施されています。
特徴とメリット
- 優れた熱安定性 - 熱膨張率が低い機材ベースのため、環境条件の変化に起因する誤差を低減
- 高反射性 - 平面鏡表面の反射性が高く (97% 超)、最高水準のパフォーマンスを発揮
- 簡単取付け - セットアップとアライメントが簡単
寸法
| 断面 | 25mm×25mm |
| オプティカルアパーチャ | 60mm～380mm (10mm 単位) |
仕様
| 局部平面度 | 幅 12mm×高さ 7mm の領域でλ/10 未満 (λ=633nm) |
| 合計平面度 | 100mm ごとでλ/10 未満、500mm ごとで 0.5µm 未満 |
| クロス偏光 | <0.5% |
| 反射率 | 入射ビームの>97% |
| 材質 | 低熱膨張率のガラス |
ミラーマウント
ミラーを固定し、モーションシステムに正確にアライメント調整するための、調節式マウントをご用意しています。全長最大 350mm のミラーに使用できます。断面は 25mm×25mm で、ヨーは±2.5°、ピッチは±1°の調整が可能です
(実際の調整可能範囲は、ミラーの長さに依存します)。
ミラーマウントは、真空環境では使用できません。
特徴とメリット
- 簡単アライメント調整 - ヨー調整/ピッチ調整でミラーのアライメント調整が効率化
- 安定した取付け - 必要に応じた熱膨張を許容する、ミラーの安定した土台として機能。
- 負荷ゼロ - ミラーの 2 面のみをクランプするため、ミラーへの負荷を低減し。取付け後にミラーがゆがむリスクを抑制しています。
39mm 真空室ウィンドウ
RLE 光ファイバ式レーザーエンコーダは干渉計を使用して、高分解能の位置決めフィードバックを行います。
RLD10-X3-DI ディファレンシャル干渉計は、真空室の壁に取り付けるよう設計されています。真空室ウィンドウを使用すると、ディテクタヘッドと測定ミラーの間にレーザービームを通せます。さらに、RLD を真空室に配置して計測する必要がある場合にも、真空室ウィンドウを真空対応の RVI20 干渉計などのその他の干渉計ヘッドと使用できます。
レニショーでは真空室ウィンドウを製造していませんが、RLE システムの性能を最大限に引き上げる、カスタム仕様の 39mm 真空室ウィンドウを調達しています。
取付け時の推奨事項
レニショーでは、真空室の壁に真空室ウィンドウを取り付けるうえで、次の事項を推奨しています。
- ウィンドウに張力がかからないように取り付けること。張力がかかると、ウィンドウが歪み、レーザービームが設計値から外れる場合があります。
- 真空室の壁を密閉するために、真空室の少なくとも片側に O リングを使用すること。
15mm DI ペリスコープアセンブリ
ペリスコープアセンブリは、RLD10-X3-DI ディファレンシャル干渉計ディテクタヘッドの測定ビームと参照ビーム同士をオフセットします。
2 個のミラーでオフセットを 15mm 拡大し、29mm のオフセットを確保します (RLD10-X3-DI の標準オフセットは 14mm)。
特徴とメリット
- オフセットの拡大 - 測定ビームと参照ビームの距離を 15mm 拡大
- 高反射性 - 高反射性のミラー使用により、測定ビームと参照ビーム間の信号強度低下を抑制
- 標準取付け - 標準の DI ヘッド取付けと同じ取付け
RVI20 真空対応干渉計
RVI20 は真空対応の平面鏡用干渉計アセンブリです。RLD10-A3-XX ディテクタヘッドと使用することで、測定パス全域を真空環境下に置くことができるようになります。
RVI20 は真空室内に取り付けられる設計になっています。RLD10-A3-XX ディテクタヘッドから照射されたレーザービームは、真空室ウィンドウ、RVI20、平面鏡の順に届きます。
特徴とメリット
- 相対測定 - 工具とワーク、など機械の 2 種類のパーツ間の相対測定が可能
- 真空対応 - 真空環境に対応し、真空室内への配置に最適
- 高品質光学部品 - RLD ディテクタヘッドに通常搭載される、高品質干渉計アセンブリを搭載
また、直線軸の位置決めフィードバックにおいて極めて高い精度を誇る、干渉式レーザーエンコーダについてもご覧ください。
セールスチームに問合せ
詳細については、最寄りのレニショーオフィスまでお問い合わせください。