RCU10 リアルタイム環境補正システム

レーザー干渉計システムを真空以外の環境で使用する場合は、環境が変化しても精度を維持できるよう、何らかの方法で空気の屈折率補正を行う必要があります。干渉計の原理はレーザー光線の波長に依存しており、レーザー波長は、ビームが通過する空気の屈折率によって異なります。

±1℃の気温変化、±3.3mbar の気圧変化、50% の湿度の変化などの環境変化により、レーザー波長に 1ppm の変化が発生し、測定に影響が及びます。

さまざまな環境条件で精度を維持するには、周囲環境の変化による空気の屈折率の変動を補正する RCU10 環境補正システムを、RLE レーザーエンコーダや HS20 長距離レーザーエンコーダと組み合わせて使用する必要があります。

RCU10 は、環境センサーを通じて機械の周囲環境をモニタし、リアルタイムで位置決めフィードバック信号の補正を行います。入出力パラメータの設定には、レニショーの設定ソフトウェア (RCU-CS) を使用します。

特徴とメリット

• 精度 - 気圧、温度センサーを使用した屈折率補正により、精度を±1ppm 以内に改善します。
• 生産性の向上 - 物体温度センサーを使用したワークと機械構造の熱膨張補正により、プロセスの繰り返し精度を大幅に改善します。
• フレキシビリティ - デジタル矩形波フィードバック信号を扱うさまざまなレーザーおよびスケールエンコーダの補正に使用可能です。

RCU10 システムの構築

RCU10 システムの構築時には、下記をご検討ください。

• RCU10 には、気圧センサーを内蔵したユニット (RCU10-PX-XX) と内蔵していないユニット (RCU10-XX-XX) があります
• 多軸システムには、高速シリアル通信リンクにより最大 6 台の RCU10 をリンクできます。多軸システムに組み込む場合、RCU10-PX-XX は 1 台あれば問題ありません。
• 気温センサー
• 物体温度センサー

システムの構築や見積りには、RCU10 パーツ番号ジェネレータをご活用ください。

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