レーザーエンコーダの概要

レーザーエンコーダは、ひとつ上のレベルの精度を誇る測定機器です。そして、レーザー干渉法は、距離を高精度で測定するうえで確立された手法です。

レニショーのレーザー干渉計システム

レニショーは 1994 年以来、長距離および短距離のレーザーを用いたフィードバックシステムを提供しています。

当社初の長距離システムは HS10 レーザーエンコーダシステムで、最大測定範囲は 60m で、航空宇宙、船舶、その他の専門的な大型工作機械で広く使用されてきました。2012 年には、光学系と電子回路を再設計し、性能の向上と信頼性の強化を実現した HS20 長距離レーザーを発売しました。

2001 年には、短距離フィードバック用 (最長 4m) に RLE レーザーエンコーダを発売しました。

特許取得で独自の「リモート」なレーザー光源として光ファイバヘッドを使用しており、場所を取らずに、簡単な取付けとセットアップで高度な測定が可能なレーザーエンコーダです。さまざまな光学的な配置や要件に対応できるよう、多種多様な構成が可能です。

RLE は、さまざまな短距離用途だけでなく、世界各地の DR-SEM や CD-SEM 測定装置メーカーにも幅広く採用されています。実用的ではなかった干渉法のメリットを実現した機能と性能を誇ります。詳細については、干渉式レーザーエンコーダのメリットの Web ページをご覧ください。

RLE および HS20 には、環境補正システムなど各種アクセサリをご用意しております。

「干渉法のメカニズム」では、レーザー干渉法の仕組みなどについて解説しています。

レーザーエンコーダは、最高レベルの精度が要求される場面によく使用されます。

レニショーのレーザーエンコーダは多種多様な分野に最適です。変位干渉計の超高パフォーマンスに、従来のテープスケールまたはガラススケール等のエンコーダのような取り付けやすさを融合したシステムです。

高分解能かつ低周期誤差の直線位置決め測定を行うのがレーザーエンコーダです。干渉式レーザーエンコーダの Web ページをご覧ください。

はい、こちらにご用意しております。

詳細については、最寄りのレニショーオフィスまでお問い合わせください。