미러와 옵틱

39 mm 진공 챔버 창

RLE 광섬유 레이저 엔코더는 간섭계를 사용하여 높은 분해능의 리니어 피드백을 제공합니다.

RLD10-X3-DI 차동 간섭계는 진공 챔버 벽에 장착하도록 설계되었습니다. 따라서 진공 챔버 창을 통해 검출기 헤드와 측정 미러 사이를 레이저 빔이 통과할 수 있습니다. 진공 챔버 안에서 측정하기 위해 RLD 검출기 헤드가 필요한 다양한 버전의 헤드(예: RVI20 진공 호환 간섭계)에도 진공 챔버 창을 사용할 수 있습니다.

Renishaw에서 진공 챔버 창을 생산하지 않지만 RLE 광섬유 레이저 시스템의 성능을 최대화하기 위해 사용자 지정 사양에 맞춰 타사 39mm 진공 챔버 창을 공급해오고 있습니다.

장착 권장사항

챔버 벽 안에 챔버 창을 설치할 때 Renishaw에서 권장하는 사항은 다음과 같습니다.

• 창 비틀림과 공칭값에서 빔 편차를 유발할 수 있는 장력이 가해지는 상태로 창을 장착해서는 안됩니다.
  
• 진공 챔버 벽에 씰이 생성되어 유지될 수 있도록 챔버 창의 적어도 한 면에 O-링을 사용해야 합니다.

15 mm DI 잠망경 어셈블리

잠망경 어셈블리는 RLD10-X3-DI 차동 간섭계 검출기 헤드의 측정 및 기준 빔 간 오프셋을 늘립니다.

이 어셈블리는 두 개의 미러를 사용해서 오프셋을 15 mm 늘려 총 분리 길이를 29 mm(표준 RLD10-X3-DI 오프셋은 14 mm임)로 만듭니다.

기능 및 이점

• 증가된 오프셋 - 측정 빔과 레퍼런스 빔 사이에 15 mm 오프셋을 추가로 허용합니다.
• 고도 반사율 - 반사도가 높은 미러를 사용하여 측정 빔과 레퍼런스 빔 사이 신호 세기 강하를 최소화합니다.
• 표준 마운트 - 잠망경이 표준 DI 검출기 헤드 마운트를 유지합니다.

RVI20 진공 호환 간섭계

RVI20은 평면 미러를 위한 진공 호환 간섭계 어셈블리입니다. RLD10-A3-XX 검출기 헤드와 함께 사용할 때, 전체 측정 경로를 진공 환경 내에 유지할 수 있습니다.

RVI20은 진공 챔버 내에 장착하도록 설계되었습니다. 레이저 빔은 RLD10-A3-XX 검출기 헤드로부터 챔버 창을 통과해 RVI20로, 이어서 평면 미러로 전달됩니다.

기능 및 이점

• 상대적 측정 - 기계의 두 요소(예: 공구와 공작물) 사이 상대적 측정을 허용합니다.
• 진공 호환성 - 고진공 분야와 호환되며 진공 챔버 내 장착에 적합합니다.
• 우수한 품질의 옵틱 - RVI20의 RLD 검출기 헤드에 품질이 뛰어난 Renishaw 간섭계 옵틱 어셈블리가 내장되어 있습니다.