Multi-DoF 옵티컬 엔코더 시스템
Multi-DoF(다중 자유도) 옵티컬 엔코더 시스템은 최대 6자유도(6DoF)를 측정합니다. Renishaw의 독보적인 RXMA 1.5D 스케일을 적용한 Multi-DoF 측정 기술이 동적 모션 애플리케이션에 어떻게 고성능 위치 측정을 구현하는지 확인해 보십시오.
동적 모션 애플리케이션을 위한 절대 위치 제어
Renishaw는 하나 이상의 RXMA 1.5D 스케일과, 시장에서 검증된 RESOLUTE™ 앱솔루트 엔코더를 결합해 트루 앱솔루트 Multi DoF 엔코더 시스템을 설계했습니다. 이 조합은 원점 복귀 사이클이 필요한 증분형 엔코더와 달리, 빠르고 정밀한 Multi-DoF 위치 측정을 제공합니다. RXMA 앱솔루트 스케일은 열 팽창이 적은 기판을 사용하여 뛰어난 열 안정성을 제공합니다.
고성능 애플리케이션을 위한 설계
Renishaw의 앱솔루트 Multi-DoF 엔코더 시스템은 고성능 모션 시스템에 적합합니다. 반도체 산업에 사용되는 XY 스테이지와 같은 고도로 동적인 응용 분야에는 품질과 생산성 요구를 충족할 수 있도록 탁월한 정확도와 반복도가 요구됩니다. 각 축을 따라 여러 자유도를 측정함으로써, 기계 제조업체는 리니어 가이드웨이의 진직도와 같은 오차 원인을 동적으로 측정할 수 있습니다. Renishaw Multi-DoF 엔코더는 공정 중에 발생하는 진직도 및 회전 오차를 실시간 보정할 수 있게 하여 공정 능력을 유지하고 부품 수율을 개선할 수 있도록 돕습니다.


정확한 X 및 Y축 측정
RXMA30 스케일은 서로 직교하는 두 개의 스케일 패턴을 갖추고 있어, X 및 Y축 위치 정보를 직접 측정할 수 있습니다. 주행축의 선형 위치 정보를 독립적으로 측정하면 계측 측면에서 몇 가지 이점을 얻을 수 있습니다. 예를 들어, Y축 측정은 일반적으로 더 긴 X축에서 발생되는 열팽창의 영향을 받지 않습니다.
간편한 전기적 및 기계적 통합
Renishaw의 Multi-DoF 접근 방식은 별개의 축을 결합하여 제어 루프와의 통합을 용이하게 합니다. X축과 Y축을 직접 측정함으로써 신호 처리가 간편해지고, 다양한 직렬 인터페이스와의 호환이 가능해집니다.
각 판독 헤드는 서로 독립적으로 작동하므로, 기계 설계자는 응용 분야의 요구 사항에 맞춰 판독 헤드의 위치를 자유롭게 배치할 수 있습니다. 케이블 출력 방향을 끝단 과 측면 방향 중 선택하여 구성할 수 있어, 각 축의 케이블 배선을 단순화하는 데 도움이 됩니다.

앱솔루트 Multi-DoF 엔코더 시스템: 판독 헤드 및 스케일
Multi-DoF 엔코더 시스템은 하나 이상의 1.5D 스케일과 두 개 이상의 판독 헤드로 구성됩니다. 앱솔루트 판독 헤드 및 스케일의 최대 스케일 길이는 아래에 나와 있습니다.
RESOLUTE™ 판독 헤드 (30 µm 피치) 고정밀 고속 |
RXM Multi-DoF 스케일 1.5D 유리 스파 스케일 낮은 팽창률 높은 반복도 X축 = 350 mm Y축 = 4 mm |
Renishaw의 완벽한 Multi-DoF 계측 솔루션
Renishaw는 고성능 모션 시스템 분야의 계측 파트너로서, 다양한 분야의 요구를 충족할 수 있는 폭넓은 기술을 보유하고 있습니다.
Renishaw는 레이저 캘리브레이터, 옵티컬 엔코더, 레이저 엔코더 등 다양한 Multi-DoF 측정 솔루션을 제공합니다.
- XM-60 및 XM-600 다축 캘리브레이터를 통해 제조업체는 6자유도 오차를 측정하여, 높은 정확도의 공정 기반을 구축할 수 있습니다.
- Multi-DoF 앱솔루트 엔코더 솔루션은 공정 중 탁월한 위치 측정 및 모니터링을 제공하여 최적의 작동 성능을 유지할 수 있도록 지원합니다.
- RMAP 다축 잠망경은 세 개의 레이저 간섭계 헤드를 결합하,여 고성능 XY 스테이지에서 리니어 위치, 피치 및 편요각을 측정합니다.


Renishaw 기술 문서를 통해 다양한 사양을 포함한 Renishaw 옵티컬 엔코더의 기술 사양을 살펴보십시오. Renishaw 규정 준수 인증서는 품질에 대한 Renishaw의 약속을 거듭 보장합니다.

옵티컬 엔코더가 어떻게 다양한 산업과 응용 분야에서 뛰어난 모션 제어가 가능하도록 지원하는지 확인해 보십시오. Renishaw의 엔코더 기술과 폭넓은 전문 지식을 활용하는 제품과 공정에 대한 실제 사례를 살펴보십시오.
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