ホワイトペーパー: 位置決め、角度および真直度測定用別置型干渉計のメリット (pdf)
ファイルサイズ : 0.911MB
言語: 日本語
本書は、各測定モード（位置決め、角度および真直度）を検証し、別置型の干渉計と三脚の上に据え付けたレーザーヘッドを使った干渉法による測定を行うメリットについて解説する。また、位置決め測定における精度を向上させるために使う環境補正システムの重要性についても記載する。
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