データシート: RLD10 DI (ディファレンシャル干渉計) ディテクターヘッド (pdf)
ファイルサイズ : 282kB
言語: 日本語
ダウンロードセンター: L-9904-2367
レニショーRLE光ファイバー式レーザーエンコーダは干渉計を使用して、高分解能の位置決めフィードバックを行います。
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