Több szabadságfokú optikai útmérők

A több szabadságfokú (multi-DoF) optikai útmérő rendszerek akár hat szabadságfokot (6DoF) is mérnek. Tudja meg, hogyan biztosít a Renishaw több szabadságfokú mérési technológiája, az egyedülálló RXMA 1.5D skáláival, nagy teljesítményű pozíciómérést dinamikus mozgású alkalmazásokhoz.

Dinamikus mozgású alkalmazások abszolút vezérlése

A Renishaw egy valódi abszolút több szabadságfokú útmérő rendszert tervezett, amely egy vagy több RXMA 1.5D skálával rendelkezik, amelyről a piacon már jól bevált RESOLUTE™ abszolút útmérők olvassák le az adatokat. Ez a kombináció fejlett, több szabadságfokú pozíciómérést kínál az inkrementális útmérő rendszerek által gyakran megkövetelt időigényes referenciapontra való visszatérési ciklusok nélkül. Az RXMA abszolút skálák egy alacsony hőtágulási együtthatóval rendelkező hordozót használnak a hőmérséklet-változással szembeni kiváló stabilitás érdekében.

Nagy teljesítményű alkalmazásokhoz készült

A Renishaw abszolút több szabadságfokú útmérő rendszere ideális megoldás a nagy teljesítményű mozgásrendszerekhez. A félvezetőiparban használt két irányban (XY) pozicionálható mérőállványokhoz hasonló, rendkívül dinamikus alkalmazások kivételes pontosságot és ismételhetőséget igényelnek a minőségi és termelékenységi követelmények teljesítése érdekében. Az egyes tengelyek mentén több szabadságfok mérésével a gépgyártók dinamikusan mérhetik a hibák forrásait, például a lineáris vezetősínek egyenességét. A Renishaw több szabadságfokú útmérői lehetővé teszik a keletkező eltolási és elfordulási hibák folyamat közbeni kompenzálását, ezáltal segítve a folyamatképesség fenntartását és az alkatrészhozamok javítását.

Több szabadságfokú útmérő skála szilícium ostyával
Több-DOF skála két RESOLUTE™ enkoder olvasófejjel (X, Y)

Valódi X és Y tengely menti mérés

Az RXMA30 skálák két merőleges skála mintázattal rendelkeznek, amelyek lehetővé teszik a közvetlen pozíciómérést az X és Y tengelyek mentén. Az elsődleges lineáris szabadságfokok független mérése bizonyos méréstechnológiai előnyökkel járhat. Például az Y tengelyen végzett méréseket nem befolyásolja a jellemzően hosszabb X tengelyen észlelt hőtágulás.

Egyszerű elektromos és mechanikus integráció

A Renishaw több szabadságfokú megközelítése különböző, különálló tengelyeket kombinál, hogy megkönnyítse a vezérlőhurokkal való integrációt. Az X és Y tengelyek közvetlen mérése kényelmes jelfeldolgozást és számos soros interfésszel való kompatibilitást tesz lehetővé.

A géptervezők az olvasófejeket az alkalmazás követelményeinek megfelelően helyezhetik el, mivel az egyes olvasófejek egymástól függetlenül működnek. Végkivezetésű és oldalsó kivezetésű kábelek kombinációja is konfigurálható, ami segít leegyszerűsíteni a kábelek elvezetését minden tengelyhez.

Multi-DoF system of 3 RESOLUTE readheads under semicon wafer shadow

Abszolút több szabadságfokú útmérő rendszerek: olvasófejek és skálák

A több szabadságfokú útmérő rendszerek legalább egy 1.5D skálát és két vagy több olvasófejet tartalmaznak. Az abszolút olvasófejhez és a skálához tartozó maximális skálahossz az alábbiakban látható:

RESOLUTE™ optikai útmérők

RESOLUTE™ olvasófej

(30 µm-es osztás)

Nagy pontosság

Nagy sebesség

RXMA multi-DoF encoder scale

RXM

Több szabadságfokú skála

1.5D üveg mérőléc

Alacsony hőtágulási együttható

Nagyfokú megismételhetőség

X tengely = 350 mm

Y tengely = 4 mm

Teljes körű, több szabadságfokú méréstechnikai megoldások a Renishaw-tól

A Renishaw az Ön méréstechnikai partnere a nagy teljesítményű mozgásrendszerek terén, számos technológiával, amelyek megfelelnek az Ön alkalmazása speciális igényeinek.

A Renishaw számos több szabadságfokú mérési megoldást kínál: lézerkalibrátorokat, optikai útmérőket és lézeres útmérőket.

  • Az XM-60 és XM-600 többtengelyes kalibrátorok lehetővé teszik a gyártók számára, hogy hat szabadságfokban mérjék a hibákat, ezáltal rendkívüli pontossággal készítsék el a folyamat alapjait.
  • A több szabadságfokú abszolút útmérő megoldások kivételes folyamat közbeni pozíciómérést és -felügyeletet biztosítanak a működés közbeni optimális teljesítmény fenntartása érdekében.
  • Az RMAP többtengelyes periszkóp három lézeres interferométer fejet kombinál a lineáris pozíció, a vízszintes síkhoz képesti dőlés és a merőleges tengelyhez képesti szögeltérés mérésére nagy teljesítményű, két irányban (XY) pozicionálható mérőállványokon.


Vízszintes állvány a lineáris állványon
Két kézzel tartott táblagép, amelyen egy Renishaw útmérő telepítési útmutatója látható

Tekintse meg optikai útmérőink műszaki specifikációit, beleértve az opciókat és változataikat is, a műszaki dokumentumaink segítségével. Megfelelőségi tanúsítványaink további garanciát nyújtanak a Renishaw minőség iránti elkötelezettségére.

Műszaki dokumentumok letöltése

A FORTiS™ zárt optikai útmérő oldalnézete egy szerszámgépben

Fedezze fel, hogy az optikai útmérők hogyan tesznek lehetővé kiváló mozgásvezérlést számos iparágban és alkalmazásban. Tekintse meg a Renishaw útmérőtechnológiáját és széles körű szakértelmét hasznosító termékek és folyamatok valós életből vett példáit.

Útmérők biztosította előnyök a mozgásvezérlésben

 

Vegye fel még ma a kapcsolatot értékesítési csapatunkkal

Vegye fel a kapcsolatot a helyi irodával a további információkért, és hogy beszélhessen egy szakértővel.