TONiC™ UHV inkrementális útmérő rendszer forgójeladókhoz (szögelfordulás-érzékelőkhöz) használható RESM20-gyűrűvel
Jellemzők
- Olvasófej mérete: 35 x 13,5 x 10 mm
- 1 nm-ig terjedő felbontás
- Akár 3673 ford./perc fordulatszám
- Ultra-alacsony osztás alatti hiba (SDE): jellemzően < ±30 nm
- Optikai IN-TRAC™ referenciajel
Előnyök
- Ultramagas vákuumban használható (UHV)
- Lapos kivitelű, nagy belső átmérőjű gyűrű a könnyű beépítés érdekében
- Szuperkompakt útmérő olvasófej dinamikus jelkondicionálással a jobb mozgásvezérlés eléréséhez
- Diagnosztikai készlet a bonyolult telepítési műveletek és a rendszer optimalizálásának elősegítéséhez.
Mi a TONiC UHV?
A TONiC UHV az ultramagas vákuumban működő alkalmazások területén is elérhetővé teszi a Renishaw kompakt, érintésmentes útmérő rendszerét, ezzel jobb mozgásvezérlést tesz lehetővé az ügyfelek számára.
A TONiC akár 10 m/s sebességet és – a Ti interfésszel ötvözve – lineáris és forgó alkalmazásokban is 1 nm-ig terjedő felbontást tesz lehetővé. A TONiC rendszerek széles beállítási tűrésük és egyetlen gombnyomásra kalibrálható kivitelük révén könnyen és gyorsan telepíthetők. A TONiC dinamikus jelfeldolgozása fokozott jelstabilitást biztosít nagyon alacsony, jellemzően <±30 nm osztás alatti hiba mellett, ezzel segítve a kimagasló mozgásvezérlési teljesítmény elérését.
Mi az RESM20 gyűrű?
Az RESM20 egy darabból álló, rozsdamentes acélból készült, közvetlenül a kerületébe mart 20 µm-es osztásközű skálával rendelkező gyűrű, amelyet az IN-TRAC™ optikai referenciajellel is ellátnak. Széles mérettartományban (52–550 mm átmérő) és két változatban kapható. A lenyűgöző beépítés utáni pontosságot kínáló „A” metszetű gyűrűk, amelyek kúpos rögzítési rendszere szinte feleslegessé teszi a nagyon kis tűrésű megmunkált alkatrészek alkalmazását, és teljesen kiküszöböli az excentricitást. Emellett a „B” metszetű, kis tehetetlenségű és tömegű keskeny gyűrűk is kaphatók. Az „A” és „B” metszetű gyűrűk egyaránt nagy átmérőjűek az UHV alkalmazásokba történő rugalmas beépíthetőség érdekében. Az érintésmentes kivitel kiküszöböli az irányváltási holtjátékot, a tengely elcsavarodását (torzió) és más mechanikai hiszterézishibákat, amelyek a hagyományos tokozott jeladók velejárói.
Miért ez az útmérő rendszer az ideális megoldás?
Ultramagas vákuumban használható (UHV)
A TONiC UHV olvasófejek a normál TONiC egységek kiemelkedő teljesítményét biztosítják egy olyan olvasófejben, amelyet UHV-kompatibilis anyagok felhasználásával terveztek és készítettek olyan eljárásokkal, amelyek alkalmassá teszik akár 10 -10 Torr vákuumban, UHV körülmények között történő használatra is.
A TONiC UHV útmérők és tartozékok skálája vákuumban is használható anyagok és ragasztók felhasználásával készült, amelyeket kis mértékű gázkibocsátás jellemez, és a maradékgáz-elemzés (RGA) eredménye is igazoltan rendkívül tiszta. Ezáltal számos különféle alkalmazásban használhatók, például a félvezető-ostyák kezelése/ellenőrzése során, tudományos műszerekben, spektroszkópiás méréseknél, vákuumos vizsgálóberendezésekben és még sok más területen.
Kivételes méréstechnika
A TONiC útmérő a Renishaw már bevált szűrőoptikájával és fejlett jelfeldolgozásával rendelkezik. Az automatikus kiegyenlítésszabályozás (AGC) és az automatikus eltolásszabályozás (AOC) technológa csökkenti az analóg jelzajt és a digitális remegést az olvasófejben.
A TONiC útmérők kivételesen alacsony, <±0,5 nm RMS jelkimeneti remegést és alacsony, <±30 nm osztás alatti hibát (SDE) biztosítanak, lehetővé téve a rendszerek számára, hogy jobban tartsák a pozíciót, és kevesebb hőt termeljenek a lineáris motoros alkalmazásokban. Az alacsony remegés a kis sebességgel működő, nagy pontosságú alkalmazásokban is lehetővé teszi az egyenletesebb sebességszabályozást.
Rugalmas konfiguráció
A TONiC sorozat számos külső interfészt kínál, amelyek az alkalmazás sebesség- és felbontási követelményeinek megfelelően konfigurálhatók. A külső interfész későbbi integrálásával és konfigurálásával a sokoldalú TONiC olvasófej több testreszabási lehetőséget kínál a végfelhasználónak.
A TONiC interfészopciók digitális, analóg vagy digitális és analóg jelek kettős kimenetét teszik lehetővé. A TD (kettős felbontású) interfész választható kettős felbontású kimenetet kínál, és a széles formátumú nyomtatási alkalmazásokhoz DPI-interfész is rendelkezésre áll. A TONiC útmérő-konfiguráció rugalmassága lehetővé teszi az OEM-gyártók számára, hogy az alkalmazások széles körében ki lehessen használni a kiváló mozgásvezérlés és a nagy teljesítmény előnyeit.
Interfészopciók
TD (kettős felbontású) interfész
- Választható kettős felbontású négyszögjel-kimenet.
- Ideális olyan alkalmazások esetén, amelyeknél nagy sebességű és precíziós mozgás kombinációja szükséges.
DOP (kettős kimenetű) interfész
- Egyidejű digitális négyszögjeleket és 1 Vpp jeleket biztosít.
- Egy vagy több művelet mozgótengellyel történő szinkronizálását igénylő alkalmazásokhoz készült.
DSi (Kettős jeles interfész)
- A Renishaw DSi két TONiC olvasófej inkrementális jelét kombinálja egy RESM20 gyűrűn (részleges körpályás alkalmazásokban REST20 gyűrűn), hogy kompenzálja a csapágyak játékának hatását, és kiküszöböli a páratlan harmonikus jelekből adódó hibákat, ideértve az excentricitást, ezáltal az I beépítés utáni pontosság jellemző értéke mindössze ±2,0 szögmásodperc.
Külön rendelhető diagnosztikai készlet
A TONiC diagnosztikai szoftver segítségével optimalizálható a TONiC útmérők telepítése, és a rendszer gyors és átfogó módon kalibrálható. A szoftvert a TONiC diagnosztikai hardverrel együtt kell használni, amely A-9411–0011 cikkszámon szerezhető be a Renishaw-tól. A hardver USB-kábellel (a készlet tartalmazza) csatlakoztatható a számítógéphez, vagy sorosan az ügyfelek elektronikai rendszeréhez.
Tudjon meg mindent a TONiC diagnosztikai készletről.
Műszaki adatok
Mérési szabvány | RESM20: egy darabból álló, lapos kivitelű, rozsdamentes acélgyűrű. Normál „A” metszetű, kúpos belső átmérőjű, vagy kis tehetetlenségű „B” metszetű Részleges körpályás alkalmazásokhoz használható REST20 verzióban is kapható |
Olvasófej mérete (H x M x Sz) | 35 mm x 13,5 mm x 10 mm |
Skálaosztás | 20 μm |
Hőtágulási együttható 20 °C-on | 15,5 ±0,5 µm/m/°C |
Gyűrű külső átmérője | 52–550 mm. Nagyobb, egyedi méretért forduljon a Renishaw-hoz |
Osztásszám | 8192–86 400 (gyűrűmérettől függően) |
Referenciajel | RESM20: egyetlen IN-TRAC referenciajellel ellátott gyűrű REST20: két referenciajeles gyűrű részleges körpályás alkalmazásokhoz |
Pontosság* Beosztás pontossága Rendszer pontossága | ±3,97 és ±0,38 szögmásodperc között (gyűrűátmérőtől függően) ±4,20 és ±0,40 szögmásodperc között (gyűrűátmérőtől függően) |
Maximális sebesség Analóg Digitális | (A részleteket lásd az adatlapon) 3673 ford./perc -3 dB mellett (52 mm-es RESM20 esetén) 3673 ford./perc (5 μm-es felbontású TONiC útmérő 52 mm-es RESM20 skálán) |
Osztás alatti hiba (SDE) | Jellemzően < ±30 nm |
Dinamikus jelvezérlés | Valós idejű jelkondicionálás, ideértve az automatikus erősítésszabályozást (AGC) és automatikus eltolásszabályozást (AOC) az optimális üzemi teljesítmény érdekében |
Inkrementális jelek Analóg Digitális | (A szögfelbontás részletes adatait lásd az adatlapon) 1 Vpp (20 μm-es periódus) Felbontás 5 µm-től 1 nm-ig |
Elektromos csatlakozás | 0,5 m, 1 m, 1,5 m, 3 m, 5 m és 10 m kábelhossz mini csatlakozóval (közvetlenül a TONiC interfészhez csatlakozik) |
Tápellátás | 5 V ±10%, < 100 mA (analóg rendszer), < 200 mA (digitális rendszerek) (lezáratlan) |
Az olvasófej energiafogyasztása | < 100 mA |
Rezgés (üzem közben) | max. 100 m/s2 55–2000 Hz-en |
Ütés (üzemen kívül) | 1000 m/s2, 6 ms, ½ szinusz |
Üzemi hőmérséklet (rendszer) | 0 °C és +70 °C között |
Kifűtési hőmérséklet (üzemen kívül) | 120 °C (Csak olvasófej és skála) |
Tömítés | Olvasófej: IP20 Interfész: IP20 |
Kábel felépítése | Ónozott, rézfonatos egyszeres árnyékolás, FEP-magos szigetelés |
* A rendszer pontossága a beosztási hiba és az SDE összege. A beosztási pontosság az egy olvasófej által mért szögelfordulás és az útmérő beosztás szerinti valódi elforgása közötti különbség. Az alkalmazási körülményekből adódó zavarokat, mint például az excentricitást, nem tartalmazza.
A részleteket lásd az adatlapokon.