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RLU (光ファイバ送出機構内蔵のコンパクトレーザーユニット)

レニショーのレーザーエンコーダは、変位干渉計の究極のパフォーマンスと、従来のテープスケールまたはガラススケールを使ったエンコーダのような取り付けやすさを兼ね備えています。

RLE システムは、位置決めフィードバックのために特別に設計した、レニショー独自の最先端ホモダインレーザー干渉計システムです。RLE システムは、RLU レーザーユニットと RLD10 ディテクタヘッドで構成されます。

1 軸 あるいは 2 軸構成が可能なレーザーユニットです。HeNe (ヘリウムネオン) レーザー光源、安定化電子回路、光ファイバ送出機構、および軸の位置決めフィードバック回路が組み込まれています。

RLD ディテクタヘッドは光学測定システムの中核を成すものです。干渉計光学部品、レニショー独自のマルチチャンネル干渉縞検出機構およびビームステアラを内蔵しています。レニショーでは、3 種類の干渉計構成 (RLD10 平面鏡、RLD10 反射鏡、RLD10 ディファレンシャル) に加え、干渉計を内蔵しない RLD10 構成もご用意しております。

特徴とメリット

RLU10 または RLU20 レーザーと RLD ディテクタヘッドの組合せ:

  • シンプルなシステム構成 - レニショー独自の光ファイバ送出システムを採用
  • 高速アライメント - RLD ディテクタヘッドにより、測定軸にレーザービームを直接取付け可能
  • コンパクトで簡単セットアップ - 最小の取付け領域で最短時間で取付け可能

レニショーのエンコーダを使用することで、顧客が求める仕様を常に上回り続けています。顧客には、クラスで最高の経験を提供できるよう努めています。我々が成功を収められている理由のひとつは、レニショーのような企業が提供してくれる技術革新にあります。

Aerotech 社 (米国)

RLU10 レーザーユニット

RLU10 は、1 時間以上の±50ppb のレーザー周波数安定性を誇ります。大気中測定の大半に適します。

RLU10 の概要

ファイバ長3m または 6m*
軸数1 軸または 2 軸*
レーザー光源クラス 2 HeNe (ヘリウムネオン)
出力アナログまたはデジタル
速度最高 2m/s**

*出荷時設定
**バージョンまたは分解能に依存

RLU10 の性能

レーザー周波数安定性 (1 分)

‹±10ppb

レーザー周波数安定性 (1 時間)

‹±50ppb

レーザー周波数安定性 (8 時間)

‹±50ppb

真空波長安定性 (3 年以上)

±0.1ppm

XY ステージでの使用

大気環境下での、XY ステージ測定に最適なレーザーエンコーダをお探しですか。RLU10 レーザーユニットと 2 個の RLD10-A3-P9 (RLD10 平面鏡干渉計) で構成される RLE10-DX-XG システムをご検討ください。

RLU20 レーザーユニット

RLU20 は、1 時間以上の±2ppb のレーザー周波数安定性を誇ります。真空環境の大半で、極めて優れた測定パフォーマンスを発揮します。

RLU20 の概要

ファイバ長3m のみ*
軸数1 軸または 2 軸*
レーザー光源クラス 2 HeNe (ヘリウムネオン)
出力アナログまたはデジタル
速度最高 2m/s**
*出荷時設定
**バージョンまたは分解能に依存

RLU20 の性能

レーザー周波数安定性 (1 分)‹±1ppb
レーザー周波数安定性 (1 時間)‹±2ppb
レーザー周波数安定性 (8 時間)‹±20ppb
真空波長安定性 (3 年以上)±0.1ppm

ディファレンシャル測定での使用

真空環境下での、ディファレンシャル測定に最適なレーザーエンコーダをお探しですか。RLU20 レーザーユニットと 2 台の RLD10-X3-DI ディファレンシャル干渉計で構成される RLE20-DX-XP システムをご検討ください。

RLE システムの構築

レニショーレーザーヘッドを変位干渉計として動作させるには、用途に適したヘッドと組み合わせる必要があります。RLE システムの構築時には、下記をご検討ください。

  • レーザー光源 (RLU10 か RLU20)
  • ファイバ長 3m または 6m (RLE10 のみ)
  • 校正証明書 (オプション、有償発行)
  • 平面鏡または反射鏡のターゲット光学部品
  • 各軸に対する RLD ディテクタヘッドのタイプ
  • 各軸のビーム出力方向 (ディファレンシャル干渉計ヘッドの場合は不要)

システムの構築や見積りには、RLE パーツ番号ジェネレータをご活用ください。

また、直線軸の位置決めフィードバックにおいて極めて高い精度を誇る、干渉式レーザーエンコーダについてもご覧ください。

FAQ

RLE システムで達成可能な最高分解能は？

RPI30 パラレルインターフェースと組み合わせて使用する場合で、1m/s の速度で 38.6pm です。

RLE システムの校正証明書を発行してもらえますか？

はい、新しいシステムの発注時にご用命ください。ただし、有償での対応です。

平面鏡か反射鏡のどちらを使用したらよいですか？

それぞれ独自の利点があるため、用途に応じて異なります。平面鏡は、XY ステージでの使用に適しています。反射鏡は、平面鏡よりも角度回転に対する公差が大きく、通常、直線軸に使用します。

RLE システムには、どのミラーが推奨されますか？

用途に合わせた幅広いラインナップを取りそろえています。また、カスタムミラーをご希望の際は、平面鏡とミラーマウントのデータシートを参考にしてください。

補足資料

 

セールスチームに問合せ

詳細については、最寄りのレニショーオフィスまでお問い合わせください。