UHV 対応タイプリニアインクリメンタルエンコーダステップ 2: 下記の、UHV (超高真空) 対応タイプリニアインクリメンタルエンコーダシリーズから選定します。TONiC™ UHVTONiC UHV は、20µm ピッチ用のコンパクトなエンコーダシステムです。RTLC20 と TONiC UHVRTLC20 リニアステンレススチールテープスケールと、20µm ピッチ用の超コンパクトな TONiC UHV インクリメンタルリードヘッド。機材に直接取り付けられる両面テープタイプのスケール、FASTRACK™ を使用して取り付けるタイプのスケール、どちらとも組み合わせ可能です。インターフェースも各種ラインナップしています。RKLC20-S と TONiC UHVRKLC20-S リニアスリムステンレススチールテープスケールと、20µm ピッチ用の超コンパクトな TONiC UHV インクリメンタルリードヘッド。機材へのマスタリングにより測定性能が向上しています。RELM20 と TONiC UHV熱膨張率が低い ZeroMet™ 製 RELM20 スケールと、20µm ピッチ用の超コンパクトな TONiC UHV インクリメンタルリードヘッド。インターフェースも各種ラインナップしています。RSLM20 と TONiC UHVRSLM20 ステンレススチールスケールと、20µm ピッチ用の超コンパクトな TONiC UHV インクリメンタルリードヘッド。インターフェースも各種ラインナップしています。 光学式エンコーダシリーズリニアインクリメンタルUHV 対応タイプリニアインクリメンタルリニアアブソリュートUHV 対応タイプリニアアブソリュートパーシャルアークインクリメンタルパーシャルアークアブソリュートロータリインクリメンタルUHV 対応タイプロータリインクリメンタルロータリアブソリュートUHV 対応タイプロータリアブソリュートETR タイプロータリアブソリュート ポジションエンコーダオープンタイプ光学式エンコーダクローズドタイプ光学式エンコーダ干渉式レーザーエンコーダ磁気式エンコーダ