光学式マルチ DoF エンコーダ
光学式マルチ DoF エンコーダは、最大で 6 自由度を測定するエンコーダです。レニショー RXMA 1.5D スケールなど、レニショーのマルチ DoF 測定テクノロジーについて、紹介いたします。
動的なモーションアプリケーションの絶対制御
レニショーでは、1 本以上の RXMA 1.5D スケールと RESOLUTE™ アブソリュートリードヘッドから成るマルチ DoF システムを開発しました。インクリメンタルエンコーダで必要な原点復帰という時間のかかる作業なしで、高度な多自由度の位置測定を行うことができるシステムです。また、RXMA スケールは、低熱膨張率による熱安定性が特徴です。
ハイパフォーマンスが求められる用途のために開発
レニショーのマルチ DoF アブソリュートエンコーダは、ハイパフォーマンスなモーションシステムに最適なエンコーダです。半導体産業などで用いられる XY ステージなどでは、品質と生産性のニーズを満たすために、極めて高い精度と繰り返し精度が求められます。各軸に沿って複数の自由度を測定することで、リニアガイドの真直度などの誤差要因を動的に測定できます。マルチ DoF エンコーダがあれば、直線誤差や回転誤差をインプロセスで補正することができ、プロセス能力の維持や歩留まりの改善を実現できます。
真の X 軸および Y 軸測定
RXMA30 は互いに直交するパターンが 2 本刻まれたスケールで、X 軸と Y 軸の直接的な位置測定を可能にします。主要な線形自由度を個別に測定することには、測定上の利点がいくつかあります。例えば、Y 軸方向の測定では、通常は Y 軸より長い X 軸で発生する熱膨張の影響を受けません。
容易な電気的かつ機械的な統合
レニショーのマルチ DoF 方式は、個別の独立した軸を組み合わせることで、制御ループへの容易な統合を実現しています。X 軸および Y 軸を直接測定することで、信号処理が容易になり、さまざまなシリアルインターフェースとの互換性が確保されます。
個々のリードヘッドは互いに独立して動作するため、要件に応じてリードヘッドの配置を自由に決めることができます。また、異なるケーブル引出し方向のリードヘッドを組み合わせることができるため、各軸の配線を簡素化するのにも役立ちます。
マルチ DoF アブソリュートエンコーダシステム: リードヘッドとスケール
マルチ DoF エンコーダシステムは、1 本以上の 1.5D スケールと 2 個以上のリードヘッドから構成されます。最大スケール長は、以下のとおりです。
RESOLUTE™ リードヘッド (30µm ピッチ) 高精度 高速動作 |
RXM マルチ DoF スケール 1.5D ガラススケール 低熱膨張 高い繰り返し再現性 X 軸 = 350mm Y 軸 = 4mm |
レニショーの完全な多自由度測定ソリューション
レニショーは、高性能モーションシステム向けの測定パートナーとして、アプリケーション固有のニーズに対応する多様な技術を提供しています。
多自由度測定ソリューションとして、レーザーキャリブレータ、光学式エンコーダ、レーザーエンコーダなど、さまざまな製品を取りそろえています。
- XM-60/XM-600 マルチアクシスキャリブレータ: 1 回のセットアップで 6 自由度の偏差を同時測定するシステムです。
- マルチ DoF アブソリュートエンコーダ: 位置測定およびモニタリングを卓越した精度でインプロセスで行い、最適なパフォーマンスの確保に貢献します。
- RMAP マルチアクシスペリスコープ: 3 個の干渉計ヘッドの組合せで、ハイパフォーマンスな XY ステーじにおける直線の位置決め、ピッチ、ヨーを測定します。
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