TONiC™ UHV インクリメンタルエンコーダシステム with RTLC20 リニアスケール

機能

リードヘッドサイズ: 35×13.5×10mm
最高分解能 1nm
最高速度 10m/s
アナログ出力またはデジタル出力
超低周期誤差: 平均±30nm 未満
ユーザー側で位置選択可能な、IN-TRAC™ オプティカルリファレンスマーク

メリット

UHV (超高真空) 対応タイプ
使い勝手がよく、頑丈なテープスケール
ガイド式のスケールシステムで、スケールの簡単な取付けと交換が可能
動的信号処理でモーションコントロール性能が向上したコンパクトリードヘッド
診断キット

TONiC UHV とは

TONiC UHV は、優れたモーションコントロールを実現する、超高真空対応のコンパクト非接触式エンコーダシステムです。

最高速度は 10m/s で、Ti インターフェースと組み合わせた場合、リニアおよびロータリシステムとしての最高分解能は 1nm です。取付け公差が広く、ボタン 1 個でキャリブレーションを行えるため、短時間で簡単に取り付けられます。また、動的信号処理により、平均周期誤差±30nm 未満という優れた信号の安定性を確保し、優れたモーションコントロール性能を実現します。

RTLC20 スケールとは

RTLC20 は、ユーザー側で位置選択可能な IN-TRAC リファレンスマークを実装し、20µm ピッチの目盛りが刻まれた薄型のステンレススチールテープスケールです。精度は±5µm/m で、最大長は 10m です (10m 超も要望に応じ対応可)。取付け方法には 2 種類あります。どちらの方法でも、機材に影響されない熱膨張率を確保しつつ簡単に取り付けられます。
FASTRACK™ スケールガイドシステムを使用するのが RTLC20 です。このシステムでは、取付け穴が不要で、短時間で簡単にスケールの経路を敷設できます。位置合わせのためのスペーサを外して、テープスケールを経路に挿入します。
RTLC20-S の貼付けには、両面テープを使用します。両面テープは、機材に影響されない熱膨張率を維持できるように製造されています。
なお、どちらのスケールタイプにしても、1 箇所をクランプ固定して基準位置を配置して、取付けを完了します。

このエンコーダシステムのメリット

UHV (超高真空) 対応タイプ

TONiC UHV リードヘッドは、標準タイプの TONiC の優れた性能を継承しながら、超高真空対応の部品と製造工程で設計製造されたリードヘッドです。10^-10Torr までの超高真空条件で使用できます。
TONiC UHV エンコーダと各種アクセサリは、UHV 対応素材と接着剤を使用した特別設計により、低いガス放出率とクリーンな残留ガス分析 (RGA) を確保しています。ウェハ処理/検査、科学計測器、分光器、真空検査装置などのさまざまな用途に最適です。

取外しが簡単なスケール

RTLC20/FASTRACK は、輸送時に機械を解体する必要がある場合や、スケールを取り付けなおしたい場合に最適です。作業スペースが制限されていても、スケールを抜いて短時間で交換でき、機械のダウンタイムを短縮できます。

高い測定パフォーマンス

TONiC には、市場で高く評価されているフィルタリング機構と信号処理機能が組み込まれています。オートゲインコントロール (AGC) とオートオフセットコントロール (AOC) という機能によって、アナログ信号のノイズやリードヘッド内のデジタルジッタを低減します。

ジッタ <±0.5nm RMS、周期誤差 <±30nm とそれぞれ極めて低く抑えられているため、位置精度が高く、リニアモータでの発熱量の低減に貢献します。また、ジッタが低いため、低速で高精度が求められる用途で、よりスムーズな速度制御が可能になるというメリットも期待できます。

柔軟な構成

TONiC には、速度や分解能を柔軟に選択できるよう、インターフェースを幅広く用意しています。後半の工程で組み込む場合や外部インターフェースを使用する場合、エンドユーザー側でのカスタムに TONiC リードヘッド 1 個で柔軟に対応できます。

TONiC インターフェースの種類としては、デジタル出力、アナログ出力、デジタル/アナログ出力をご用意しています。TD インターフェースでは 2 種類の分解能を切替え可能で、DPI インターフェースでは幅広いフォーマットの印刷用途に対応しています。多種多様な構成に対応できる TONiC の柔軟さは、OEM 各社が高度なモーションコントロールや高い処理量を実現するうえで有効と言えます。

対応インターフェース

TD (デュアル分解能) インターフェース

選択可能なデュアル分解能のデジタル信号出力
高速移動と高精度の位置決めを必要とする用途に最適

DOP (デュアル出力) インターフェース

デジタル信号と 1Vpp のアナログ信号を同時出力
移動軸と複数動作を同期させる用途向けに設計

診断キット (アクセサリ)

TONiC 診断ソフトウェアは、TONiC エンコーダの取付けの最適化、システムキャリブレーションに使用するソフトウェアです。ただし、TONiC 診断用ハードウェアと一緒に使う必要があります。このハードウェアの購入については、レニショーまでお問い合わせください (パーツ No. A-9411-0011)。ハードウェアは、USB ケーブル (キットに付属) で PC に接続するか、エンコーダの接続先機器を介して接続できます。

TONiC 診断キットの詳細をご覧ください。

技術仕様

対応スケール	RTLC20/FASTRACK: ガイドシステムとステンレススチールテープスケール RTLC20-S: FASTRACK を使用せずに機材に直接取り付ける、両面テープ式ステンレススチールテープスケール
リードヘッドサイズ (長さ×幅×厚さ)	35mm×13.5mm×10mm
スケールピッチ	20µm
熱膨張率 (20℃時)	10.1±0.2µm/m/℃
精度等級 (20℃時)	±5µm/m
リファレンスマーク	RTLC20 または RTLC20-S に埋め込まれた IN-TRAC リファレンスマーク複数のリファレンスマークの識別にはセレクタを使用
リミットスイッチ	デュアルまたはシングルリミット (発注時に選択)
スケール長	FASTRACK: 100mm～25m RTLC20 と RTLC20-S: 最長 10m (10m 超も対応可)
最高速度アナログデジタル	(詳細はデータシート参照) -3dB で最高 10m/s 最高 10m/s
周期誤差	平均 <±30nm
動的信号制御	オートゲインコントロール、オートオフセットコントロールなどのリアルタイム信号処理で、動作中にパフォーマンス最適化
インクリメンタル信号アナログデジタル	1Vpp (20µm 周期) 分解能 5µm～1nm
電気接続	ケーブル長 0.5m、1m、1.5m、3m、5m、10m、ミニコネクタ (TONiC インターフェースに直接接続)
電源	5V±10%、<100mA (アナログシステム)、<200mA (デジタルシステム) (未終端)
リードヘッド消費電力	< 100mA
振動 (動作時)	最大 100m/s²@55Hz～2,000Hz
衝撃 (非動作時)	1,000m/s²、6ms、½ sine
動作温度 (システム)	0℃～+70℃
ベーキング温度 (非動作時)	120℃ (リードヘッドとスケールのみ)
防水防塵性能	リードヘッド: IP20 インターフェース: IP20
ケーブルの仕様	錫メッキ銅縒り単層シールド、フッ素樹脂皮膜芯線

詳細については、データシートを参照してください。