초고도 진공 옵티컬 엔코더
청정한 고진공 환경 유지 및 아웃개싱 최소화
Renishaw의 UHV 호환 엔코더 계열에 포함되는 모든 제품은 진공 압력이 10-10Torr 수준으로 낮은 다양한 과학, 반도체 및 기타 첨단 산업 분야에 적합하도록 설계됩니다.
작동의 기본 원리는 등가 표준 대기 제품과 동일하지만, 다양한 UHV 버전이 무환기 공간을 소거하도록 설계되며, 특별히 청정한 진공 호환 재료와 접착제로 제작됩니다. UHV 환경에서 사용하기 위한 제품의 적합성은 잔류 가스 분석(Residual Gas Analysis, RGA) 스펙트럼 테스트(요청할 경우 실시)를 포함하여 독자적인 전문 테스트 업체에서 심의합니다.
해당 제품으로는 증분형 및 절대, 개방형 옵티컬 엔코더가 포함됩니다.
시장에는 다양한 고품질 엔코더 제품이 있지만 진공 분야와 호환되는 제품은 소수에 불과합니다. 뛰어난 성능과 신뢰성을 자랑하는 Renishaw의 TONiC UHV 엔코더는 우리 회사에 최적의 솔루션입니다.
VAD Instrument, 대한민국
증분형 UHV 엔코더
TONiC™ UHV 개방형 엔코더 시스템
TONiC UHV 엔코더는 TONiC 엔코더 시리즈의 특수 개조 버전입니다. 이 제품의 특징은 다음과 같습니다.
- 다양한 스케일과 호환:
- 리니어: RTLC 스테인리스 강철 테이프, RKLC 협폭 스테인리스 강철 테이프, RELM ZeroMet 스파, RSLM 스테인리스 강철 스파.
- 로터리(앵글): RESM 스테인리스 강철 링, REXM 초고정확도 스테인리스 강철 링.
앱솔루트 UHV 엔코더
RESOLUTE™ UHV 개방형 엔코더 시스템
RESOLUTE UHV 엔코더는 RESOLUTE 엔코더 시리즈의 특수 개조 버전입니다. 이 제품의 특징은 다음과 같습니다.
- BiSS® C 및 Panasonic 직렬 인터페이스.
- 다양한 스케일과 호환:
- 리니어: RTLA 스테인리스 강철 테이프, RELA ZeroMet 스파, RSLA 스테인리스 강철 스파.
- 로터리(앵글): RESA 스테인리스 강철 링, RESA 초고정확도 스테인리스 강철 링.
RESOLUTE 앱솔루트 UHV 엔코더 소개 영상 시청하기
RESOLUTE UHV 엔코더의 RGA 결과
Renishaw는 다양한 RESOLUTE 진공 시스템용 RGA(잔류 가스 분석) 데이터를 제공합니다. 다음은 진공 환경에 엔코더 시스템이 미치는 영향을 보여줍니다.
RGA 결과
테스트 일정
사극자 질량 분석계(AccuQuad 200 RGA)는 RGA(residual gas analysis) 데이터를 수집하는 데 사용됩니다. 챔버 압력은 이온 게이지(G8130)를 사용해서 측정했습니다. 초기 시스템 컨디셔닝 후 테스트 챔버의 총 압력과 함께 배경 스펙트럼이 기록되었습니다.
구성품은 24시간 동안 외기 온도에서 KJL Lion 802 (800/s) 다이오드 이온 펌프 및 Divac 다이어프램 펌프를 사용하여 펌핑한 진공 시스템(0.0035 m3)에 배치했으며, 이후 배경 스캔과 테스트 챔버 총 압력을 다시 기록했습니다. 시스템 압력이 5 x 10-9 mbar보다 우수한 경우, 테스트 시편을 48시간 동안 120 C에서 베이킹했습니다. 그런 다음 최종 질량 스펙트럼과 총 압력 측정을 수행하기 전에 시스템을 외기 온도까지 식혔습니다. 최종 RGA 스캔이 아래에 나와 있습니다.
주:
RGA 데이터는 진공 시스템의 조건, 사양 및 성능에 따라 결정되므로 이러한 결과의 정확한 재현은 가능하지 않습니다. 하지만 잔류 가스 분석 결과 테스트에 따르면, RESOLUTE UHV로 인한 심각한 오염이 없으며, 이 제품이 있는 환경에서 UHV 조건을 얻을 수 있다는 것을 확인할 수 있습니다.
