Espelhos e óptica
A Renishaw oferece uma série de opções para óptica e espelhos, proporcionando soluções de acordo com as suas aplicações específicas.
Espelhos planos
Os espelhos planos fornecidos pela Renishaw são fabricados com substrato de vidro de baixa dilatação térmica e revestimento dielétrico de óxido duro.
Recursos e benefícios
- Termicamente estável - fabricado com substrato de baixa expansão térmica, minimizando erros causados por variações ambientais.
- Altamente reflexivo - superfície de espelho altamente reflexiva (>97%) para o máximo desempenho.
- Fácil de montar - os suportes de espelho da Renishaw oferecem uma solução de fácil ajuste e alinhamento.
Dimensões
| Seção transversal | 25 mm x 25 mm |
| Abertura óptica | 60 mm até 380 mm (incrementos de 10 mm) |
Especificação
| Planicidade local | < λ/10 sobre a área, largura 12 mm x altura 7 mm ( λ = 633 nm) |
| Planicidade total | < λ/10 por 100 mm, <0,5 µm por 500 mm |
| Polarização cruzada | < 0,5% |
| Refletividade | > 97% do feixe incidente |
| Material | Vidro de baixa dilatação térmica |
Devido à sua configuração e dimensões personalizadas, os espelhos planos são itens especiais de pedido e podem, portanto, estar sujeitos a prazos mais longos e quantidades mínimas de pedido. Como alternativa, a folha de dados no fim da página fornece especificações que permitem a aquisição local destes itens.
Suportes de espelho
Para possibilitar a montagem e alinhamento corretos do espelho no sistema móvel, a Renishaw também fornece suportes ajustáveis para espelhos com comprimento de até 350 mm e seção transversal de 25 mm x 25 mm.
Estes suportes possibilitam ajuste de rotação de até ±2,5° e inclinação de ±1°. (O campo de ajuste real depende do comprimento do espelho).
Recursos e benefícios
- Fácil de alinhar - o ajuste integrado de angularidade vertical e horizontal acelera o processo de alinhamento do espelho.
- Suporte estável - oferece uma base estável para o espelho, enquanto permite a expansão térmica necessária.
- Não restritivo - basta prender o espelho com firmeza em duas faces para reduzir o esforço no espelho, minimizando assim o risco de empenamento do espelho após a montagem.
Os suportes de espelho fornecidos pela Renishaw não são compatíveis com vácuo.
Janela da câmara de vácuo 39 mm
O leitor laser de fibra óptica Renishaw RLE utiliza interferometria para fornecer feedback linear com elevada resolução.
O cabeçote interferométrico diferencial (RLD10-X3-DI) é projetado para ser montado na parede da câmara de vácuo. Uma janela na câmara de vácuo permite que os feixes laser passem entre o cabeçote do detector e o espelho de medição. A janela na câmara de vácuo também pode ser utilizada com outras variantes de cabeçote de interferômetro em que o RLD é necessário para medir dentro de uma câmara de vácuo, como o interferômetro compatível com vácuo RVI20.
Embora a Renishaw não fabrique janelas de câmara de vácuo, a janela da câmara de vácuo de 39 mm foi adquirida conforme a especificação customizada para maximizar o desempenho do sistema RLE.
Recomendações de montagem
Renishaw recomenda o seguinte ao efetuar a montagem da janela da câmara dentro da parede da câmara.
- A janela não deve ser montada sob tensão, a qual poderia deformar a janela e desviar o feixe do valor nominal.
- Deve ser utilizado um O-ring em pelo menos um dos lados da da janela da câmara para criar e manter uma vedação na parede da câmara de vácuo.
Conjunto de periscópio DI 15 mm
O conjunto de periscópio aumenta o deslocamento entre a medição e os feixes de referência do cabeçote detector do interferômetro diferencial RLD10-X3-DI.
O conjunto utiliza dois espelhos para aumentar o deslocamento em 15 mm, a fim de produzir uma separação total de 29 mm (o deslocamento padrão do RLD10-X3-DI é de 14 mm).
Recursos e benefícios
- Maior compensação - permite uma compensação adicional de 15 mm entre os feixes de medição e referência.
- Altamente reflexivo - o uso de espelhos altamente reflexivos minimiza a queda de força de sinal entre os feixes de medição e referência.
- Montagem padrão - o periscópio mantém a montagem de cabeçote DI padrão.
Interferômetro compatível com vácuo RVI20
O conjunto de interferômetro compatível com vácuo RVI20 para espelhos planos, quando utilizado com um cabeçote detector RLD10-A3-XX Renishaw, proporciona o recurso de manter a trajetória de medição inteira dentro do ambiente de vácuo.
O RVI20 é projetado para ser montado dentro da câmara de vácuo. O feixe laser passa do cabeçote detector RLD10-A3-XX, através de uma janela da câmara, para o RVI20 e, em seguida, para o espelho plano.
Recursos e benefícios
- Medições relativas - permite a medição relativa entre duas partes da máquina, como uma ferramenta e uma peça.
- Compatibilidade de vácuo - compatível com aplicações de alto vácuo e adequado para montagem em câmara de vácuo.
- Óptica de alta qualidade - o RVI20 contém o conjunto óptico de interferômetro de alta qualidade da Renishaw, normalmente utilizado no cabeçote detector RLD.
O RVI20 foi desenvolvido para ser utilizado em aplicações com leitor laser, onde o trajeto de medição deve estar dentro do ambiente a vácuo.
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