Espelhos e óptica
A Renishaw oferece uma série de opções para óptica e espelhos, proporcionando soluções de acordo com as suas aplicações específicas do sistema de leitores laser RLE.
Espelhos planos
Os espelhos planos fornecidos pela Renishaw são fabricados com substrato de vidro de baixa dilatação térmica e revestimento dielétrico de óxido duro.
Recursos e benefícios
- Termicamente estável - fabricado com substrato de baixa dilatação térmica, minimizando erros causados por variações ambientais.
- Altamente reflexivo - superfície de espelho altamente reflexiva (>97%) para o máximo desempenho.
- Fácil de montar - os suportes de espelho da Renishaw oferecem uma solução de fácil ajuste e alinhamento.
Dimensões
| Seção transversal | 25 mm x 25 mm |
| Abertura óptica | 60 mm até 380 mm (incrementos de 10 mm) |
Especificação
| Planicidade local | < λ/10 sobre a área, largura 12 mm x altura 7 mm ( λ = 633 nm) |
| Planicidade total | < λ/10 por 100 mm, <0,5 µm por 500 mm |
| Polarização cruzada | < 0,5% |
| Refletividade | > 97% do feixe incidente |
| Material | Vidro de baixa dilatação térmica |
Suportes de espelho
Para permitir a montagem e o alinhamento corretos dos espelhos com o sistema de movimento, a Renishaw oferece suportes ajustáveis para uso com espelhos de até 350 mm de comprimento.
Os suportes têm uma seção transversal de 25 mm x 25 mm, proporcionando um ajuste da rotação no plano horizontal de até ±2,5° e um ajuste de rotação no plano vertical de ±1°. (O campo de ajuste real depende do comprimento do espelho).
Os suportes de espelho fornecidos pela Renishaw não são compatíveis com vácuo.
Recursos e benefícios
- Fácil de alinhar - o ajuste integrado de angularidade vertical e horizontal acelera o processo de alinhamento do espelho.
- Suporte estável - oferece uma base estável para o espelho, enquanto permite a dilatação térmica necessária.
- Sem restrições - a fixação do espelho firmemente em duas faces reduz a tensão exercida sobre o espelho. Isso minimiza o risco de o espelho deformar depois de montado.
Janela da câmara de vácuo 39 mm
O leitor laser de fibra óptica Renishaw RLE utiliza interferometria para fornecer feedback linear com elevada resolução.
O interferômetro diferencial RLD10-X3-DI é projetado para ser montado na parede da câmara de vácuo. Uma janela na câmara de vácuo permite que o feixe laser passe entre o cabeçote do detector e o espelho de medição. Janelas de câmara de vácuo também podem ser usadas com outras variantes de cabeçote de interferômetro em que o detector RLD é necessário para medir dentro de uma câmara de vácuo, como o interferômetro compatível com vácuo RVI20.
Embora a Renishaw não fabrique janelas de câmara de vácuo, a janela da câmara de vácuo de 39 mm foi adquirida conforme a especificação customizada para maximizar o desempenho do sistema laser de fibra óptica RLE.
Recomendações de montagem
Renishaw recomenda o seguinte ao efetuar a montagem da janela da câmara dentro da parede da câmara.
- A janela não deve ser montada sob tensão, a qual poderia deformar a janela e desviar o feixe do valor nominal.
- Deve ser utilizado um O-ring em pelo menos um dos lados da da janela da câmara para criar e manter uma vedação na parede da câmara de vácuo.
Conjunto de periscópio DI 15 mm
O conjunto de periscópio aumenta o deslocamento entre a medição e os feixes de referência do cabeçote detector do interferômetro diferencial RLD10-X3-DI.
O conjunto utiliza dois espelhos para aumentar o deslocamento em 15 mm, a fim de produzir uma separação total de 29 mm (o deslocamento padrão do RLD10-X3-DI é de 14 mm).
Recursos e benefícios
- Maior compensação - permite uma compensação adicional de 15 mm entre os feixes de medição e referência.
- Altamente reflexivo - o uso de espelhos altamente reflexivos minimiza a queda de intensidade de sinal entre os feixes de medição e referência.
- Montagem padrão - o periscópio mantém a montagem de cabeçote DI padrão.
Interferômetro compatível com vácuo RVI20
O RVI20 é um conjunto interferométrico compatível com vácuo para espelhos planos. O uso com o cabeçote detector RLD10-A3-XX permite que todo o percurso de medição permaneça em ambiente de vácuo.
O RVI20 foi projetado para ser montado dentro da câmara de vácuo. O feixe laser passa do cabeçote detector RLD10-A3-XX, através de uma janela da câmara, para o RVI20 e, em seguida, para o espelho plano.
Recursos e benefícios
- Medições relativas - permite a medição relativa entre duas partes da máquina, como uma ferramenta e uma peça.
- Compatibilidade de vácuo - compatível com aplicações de alto vácuo e adequado para montagem em câmara de vácuo.
- Óptica de alta qualidade - o RVI20 contém o conjunto óptico de interferômetro de alta qualidade da Renishaw, normalmente utilizado no cabeçote detector RLD.
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