inLux™ SEM-Raman Interface
Eine universelle Lösung für die SEM-Raman Analyse in-situ
Das innovative inLux™ SEM-Raman Interface ergänzt Ihre SEM-Kammer um Raman-Funktionen hoher Qualität. Nun können Sie Raman-Spektren erfassen, aus denen gleichzeitig mit der Bildgebung im SEM 2D- und 3D-Bilder erstellt werden können. Zwischen den Messarten SEM-Bildgebung und Ramen-Datenerfassung bleibt die Probe statisch. Bei einem Vergleich zwischen Raman- und SEM-Bildern können Sie sich daher auf eine präzise, unveränderte Position verlassen.
Das inLux Interface bietet eine umfassende Auswahl an Raman-Funktionen. Sie können Spektren aus Einzelpunkten und mehreren Punkten erstellen oder konfokale 2D- und 3D-Raman-Bilder generieren. Das gelieferte inLux Interface ist standardmäßig mit allen Funktionen für diese Arbeitsschritte ausgestattet. Er erlaubt in jeder Achse die Analyse von über 0,5 mm großen Bereichen. Es verfügt über eine vollcodierte Positionskontrolle auf bis zu 50 nm und gewährleistet so eine präzise Raman-Bildgebung.
Vorteile
- Aussagekräftig – Fotolumineszenz- (PL) und spektrale Kathodolumineszenz- (CL) Analysen werden gleichzeitig mit der SEM-Bildgebung und an derselben Position durchgeführt.
- Universell – Das inLux Interface kann auf einer Vielzahl von SEMs unterschiedlicher Hersteller mit unterschiedlichen Kammergrößen und ohne jegliche Modifikation des SEM installiert werden.
- Nicht-invasiv – Die inLux Sonde kann mit nur einem Klick eingefahren werden. Dadurch wird gewährleistet, dass die Sonde bei Nichtverwendung keine anderen SEM-Funktionen oder Arbeitsschritte behindert.
- Verteilungsanalyse – Konfokale Raman-Bilder können standardmäßig erzeugt werden und machen die Heterogenität von Proben damit einfach messbar.
- Probenbetrachtung – Großflächige optische Bildgebung und Montage zur Darstellung Ihrer Probe und gezielten Auswahl zu prüfender Bereiche.
- Konfigurierbar – Bis zu zwei unterschiedliche Laser-Anregungswellenlängen sowie ein optionales CL-Modul.
- Automatisiert – Umschalten der Laserwellenlängen für die Raman-Analyse anspruchsvoller Proben mit nur einem Klick.
inLux Interface-Anwendungen
Verunreinigungen erkennen
Die Raman-Spektroskopie ist ein berührungsloses und zerstörungsfreies Verfahren, das hochspezifische chemische Informationen liefern kann und sich daher besonders für die Kontaminationserkennung eignet. Die Raman-Spektroskopie ist besonders leistungsfähig für die Analyse von Kohlenstoff- und organischen Kontaminanten, die mittels Elementaranalyse nur schwer zu unterscheiden wären. Mit einem SEM kann die Morphologie von kleinen Schmutzpartikeln, die mit dem Lichtmikroskop nicht aufgelöst werden können, lokalisiert und untersucht werden. Anschließend können diese Partikel über das inLux Interface direkt für die Raman-Analyse ausgewählt werden, ohne die Probe bewegen zu müssen.
Werkstoffanalyse
Viele der von Werkstoffen gezeigten neuartigen Eigenschaften ergeben sich aus ihrer Größe, Form oder Dicke. Graphen, Nanostäbchen und Nanoröhren sind Beispiele dafür, dass die hohe Vergrößerung der Rasterelektronenmikroskopie für die Darstellung der Probe unerlässlich ist. Ebenso wie die Raman-Analyse Aufschluss zur chemischen und strukturellen Zusammensetzung des Werkstoffes geben kann, liefert sie auch Informationen zu seinen physischen Eigenschaften. Das inLux Interface kann Raman-Bilder erzeugen, die Kristallinität, Spannung und elektronische Eigenschaften für einen anschließenden Vergleich mit den SEM-Bildern darstellen.
Anschluss an unterschiedliche Raman-Systeme von Renishaw
Das inLux Interface wird mit den Raman-Forschungsspektrometern und der Software von Renishaw eingesetzt. Es bietet umfassende Bearbeitungs- und Analysefunktionen und ist dabei einfach in der Handhabung. Von der industriellen Kontaminationserkennung bis hin zur wissenschaftlichen Forschung – mit dem inLux Interface können Sie das volle Potenzial Ihres SEM ausschöpfen.
Virsa™ Raman-Analyser
Für spezielle Raman-Analysen kann das inLux Interface an den Virsa Raman-Analyser angeschlossen werden. Der Virsa-Analyser bietet eine kompakte, kostengünstige Lösung für die In-SEM-Raman-Analyse mit der hohen Empfindlichkeit und spektralen Auflösung, die normalerweise nur von einem Raman-Forschungssystem in einem rack-montierten Gehäuse zu erwarten ist.
Erfahren Sie mehr über den Virsa-Analyser
Konfokales Raman-Mikroskop inVia™
Schließen Sie das inLux Interface an das konfokales Raman-Mikroskop inVia an und erweitern Sie das weltweit meistverkaufte Raman-Forschungsmikroskop um die In-SEM-Analyse. Das inVia Mikroskop bietet überragende Leistung und Empfindlichkeit in einer konfigurierbaren Auswahl an Laser-Anregungswellenlängen, Detektoren und optischen Gittern. Es eignet sich ideal für die Analyse von Werkstoffen mit aktiven Ramansignalen. Das inVia Mikroskop kann eigenständig für Raman-Analysen verwendet werden. Sofern keine in situ Messungen benötigt werden, ist Ihr SEM dann für andere Anwender verfügbar.
Erfahren Sie mehr über das inVia Raman-MikroskopMehr erfahren
Geben Sie uns bitte Informationen zur Konfiguration Ihres Rasterelektronenmikroskops, damit wir Ihnen sagen können, ob es mit unserem inLux SEM Raman-Interface kompatibel ist. Füllen Sie das kurze Formular aus, das über den untenstehenden Link zugänglich ist, und einer unser Experten wird sich mit Ihnen in Verbindung setzen.
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Spezifikationen
| Parameter | Wert |
| Masse | < 20 kg |
| Länge des LWL-Kabels | 4,6 m |
| Kompatible Raman-Spektrometer | Konfokales Renishaw Raman-Mikroskop inVia, Renishaw Virsa-Analyser |
| Kompatible SEM-Modelle | Kompatibel mit den Modellen aller führenden SEM-Hersteller |
| Erforderlicher SEM-Anschluss | Freier seitlicher oder rückseitiger SEM-Anschluss |
| Die Leistungsmerkmale von SEM | Für das inLux Interface ist keine Modifizierung des SEM erforderlich. Bei Nichtverwendung kann es vollständig eingefahren werden, sodass es die Leistung des SEM oder die anderen Zubehörs nicht behindert |
| Bewegungssteuerung | Trackpad, WiRE-Software |
| Berührungsschutz | Berührungssensor, Überwachung des sicheres Arbeitsbereichs durch Absolut-Messsysteme |
| Lasersicherheit | An Kammersystem gekoppelte Laserverriegelung |
| Raman-Mapping/Imaging | Im Standardlieferumfang enthalten |
| Auswahl des LWL-Moduls | Bis zu zwei unterschiedliche Laser-Anregungswellenlängen sowie ein optionales Kathodolumineszenz-Modul |
| Verfügbare Laser-Anregungswellenlängen | 405 nm, 532 nm, 660 nm, 785 nm (andere sind auf Anfrage erhältlich) |
| Laserumschaltung | Automatisiert, motorisiert und softwaregesteuert |
| Seitliche räumliche Auflösung | < 1 µm bei 532 nm |
| Konfokale Leistung | < 6 µm bei 532 nm |
| Spektrale Auflösung | Siehe technisches Datenblatt „Spektrometer“ |
| Abmessungen | B 804 mm x H 257 mm x T 215 mm |
Downloads – inLux SEM-Raman Interface
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Brochure: inLux™ scanning electron microscope Raman interface [en]
The innovative inLux SEM Raman interface brings high-quality Raman functionality to your SEM chamber. Now you can collect Raman spectra that can produce images in 2D and 3D whilst simultaneously imaging in SEM.
