적용 사례: RLE20 간섭계는 Vistec Lithography의 최신e-beam 툴의 성능을 개선해줍니다 (pdf)
Bestandsgrootte: 626 kB
Taal: 한국어
Artikelnummer: H-5225-0742
Vistec Lithography(이전 Leica Microsystems)의VB300 e-beam 리소그라피 툴은 1993년에 도입되어 큰 성공을 거둔 VB6 시리즈를 발전시킨 제품입니다. 새로운 툴을 설계함에 있어, Vistec은소음을 일으키는 위치 오차를 줄이면 툴 성능이 크게 개선된다는 점을 발견했습니다. 향상된 기계적 강도와 Renishaw RLE20 차동 간섭계 기반 엔코더 시스템의 통합을 통해 이러한오차가 이제 3 nm 미만으로 감소할 것으로 예상됩니다.
Voor deze bestandssoort is een viewer nodig, die gratis verkrijgbaar is bij Adobe
Nieuwste - Interferometrische laserencoders
- Nieuwe generatie FORTiS™ gesloten lineaire encoders van Renishaw biedt verbeterde metrologie
- Project MARCH bouwt een exoskelet als hulpmiddel voor de mobiliteit voor mensen met ruggenmergletsel
- Project MARCH bouwt een exoskelet als hulpmiddel voor de mobiliteit voor mensen met ruggenmergletsel
- Renishaw introduceert de FORTiS™ serie gesloten lineaire absolute encoders van de volgende generatie
- RLS en Renishaw helpen mee aan een robotrevolutie
Niet gevonden wat u zocht?
Geef aan ons door wat u niet kon vinden, dan gaan wij ons best doen om u te helpen.