RLD10 Planspiegelinterferometer
Planspiegelinterferometer für XY-Tische
RLD10 Detektorköpfe beinhalten die Interferometeroptik, eine einzigartige mehrkanalige Strahlerkennungselektronik, eine Ausgangsoptik und eine integrierte Strahlsteuerung. Für den RLD10 Detektorkopf sind Varianten sowohl mit 0° als auch 90° erhältlich.
Vorteile und Merkmale
- Doppelachsenlösungen - Doppelachsen-Planspiegelsysteme sind die ideale Lösung für Anwendungen auf XY-Tischen.
- Hohe Auflösung - Planspiegelsysteme können auch bei Anwendungen eingesetzt werden, bei denen eine höhere Auflösung im Vergleich zu Retroreflektorsystemen erforderlich ist.
- Sensible Umgebungen - Planspiegelinterferometer-Detektorköpfe sind auch als Low-Power-Variante erhältlich. Geeignet für Anwendungen, bei denen die Verlustleistung noch geringer als die spezifizierten < 2 W des Standard-RLD10 sein muss.
Spezifikationen
| Verfahrweg der Achsen | 0 m bis 1 m |
| Auflösung (mit RLU konfiguriert) | Analoges Rechtecksignal = λ/4 (158 nm) |
Nichtlinearitätsfehler des Systems* (SDE) *Interface ausgenommen | <±2,5 nm unter 50 mm/s mit >70% Signalstärke <±7,5 nm bei 1 m/s mit >50% Signalstärke |
| Höchstgeschwindigkeit | Bis zu 1 m/s |
Für Nicht-Vakuum-Anwendungen ist eine Kompensation des Brechungsindexes erforderlich. Renishaw bietet das RCU10 Echtzeit-Kompensationssystem zum Ausgleich dieser Veränderungen an.
Auflösungen bis 38,6 Pikometer können durch die Integration eines RPI20 Parallel-Interface in ein RLE-System erreicht werden. Dieses Interface wandelt analoge Sinus-/Kosinus Differenzsignale mit 1 Vss in Digitalsignale im Parallelformat um. Nähere Informationen zu unserem Zubehör sind unter RCU10 Kompensationssystem und Interfaces für Laser-Messsysteme zu finden.
RLU Lasereinheiten
Erfahren Sie mehr über Renishaws Auswahl an Lasereinheiten. Sie verbinden die herausragende Leistung von Verschiebungsinterferometern mit einfacher Installierbarkeit und stellen damit eine praktische Lösung für Anwendungen dar, die höchste Messleistung erfordern.
Kontaktieren Sie noch heute unser Vertriebsteam
Für weitere Informationen setzen Sie sich bitte mit Ihrer Niederlassung in Verbindung und sprechen Sie mit einem Experten.